루츠 펌핑 스테이션

건식(오일 프리) 루츠 펌프장

건식 펌핑 스테이션의 경우 건식 배압 펌프가 루츠 펌프 와 결합됩니다. 이를 위해 일반적으로 헵타드라이 시리즈 의 스크류 펌프가 사용됩니다. 차세대 하이로브 루츠 펌프 와 함께 사용하면 높은 펌핑 속도와 빠른 배출 시간이 보장됩니다. 또는 기존의 루츠 펌프인 옥타 또한 사용할 수 있습니다.

오일 윤활식 루츠 펌프장

오일 윤활 로터리 베인 펌프와 루츠 피스톤 펌프 조합은 높은 펌핑 속도와 낮은 최종 압력을 위한 대표적인 솔루션입니다. 두 가지 다른 버전이 사용 가능합니다: 1단 배압 펌프 포함 헤나라인 또는 우노라인 플러스 또는 2단 DuoVane 펌프 사용. 오일 밀폐 배압 펌프의 사용은 구매 및 서비스 수명 비용 측면에서 가장 강력하고 저렴한 솔루션이기 때문에 여전히 다양한 산업 공정에서 선호되는 솔루션입니다.

하이 로브 및 스크류 펌프

• 펌핑 원리 배압 펌프: COBRA

• 펌핑 속도 전진공 펌프: 110 - 950 m3/h

• 펌핑 속도 펌핑 스테이션: 959 - 5098 m3/h (요청 시 상승 가능)

• 최종 압력 : 최대 5 · 10-3 mbar

• 빠른 챔버 배출 혹은 로드락 공정에 적합

하이 로브 및 1단 로터리 베인 펌프

• 펌핑 원리 배압 펌프: 헤나라인 또는 우노라인 플러스

• 펌핑 속도 전진공 펌프: 25 – 760 m3/h

• 펌핑 속도 펌핑 스테이션: 1028 – 4689 m3/h (요청 시 상승 가능)

• 최종 압력 : 최대 2 · 10-2 mbar

• 독립적인 가스 펌핑 속도와 긴수명을 갖춘 견고한 펌핑 스테이션

하이 로브 및 2단 로터리 베인펌프

• 펌핑 원리 배압 펌프: DuoVane

• 펌핑 속도 전진공 펌프: 300 m3/h

• 펌핑 속도 펌핑 스테이션: 975 - 2037 m3/h (요청 시 상승 가능)

• 최종 압력 : 최대 1 · 10-3 mbar

• 낮은 최종 압력 요구하는 공정에 적합

옥타라인 및 스크류 펌프

• 펌핑 원리 배압 펌프: COBRA

  펌핑 속도 전진공 펌프: 110 - 320 m3/h

• 펌핑 속도 펌핑 스테이션: 450 - 1800 m3/h (요청 시 상승 가능)

• 최종 압력 : 최대 2 · 10-3 mbar

• 이러한 펌핑 스테이션은 오일 프리 배압 펌프를 사용하여 오일 오염 없이 반응 매체를 펌핑할 수 있어 다양한 공정과의 호환성이 높습니다.

옥타라인 및 1단 로터리 베인 펌프

• 펌핑 원리 배압 펌프: 헤나라인 또는 우노라인 플러스

• 펌핑 속도 전진공 펌프: 25 – 760 m3/h

• 펌핑 속도 펌핑 스테이션: 230 – 1900 m3/h (50Hz), 280 – 2200 m3/h (60Hz) (요청 시 상승 가능)

• 최종 압력 : 최대 2 · 10-2 mbar

• (로드락) 챔버의 신속한 대피

옥타라인 및 2단 로터리 베인펌프

• 펌핑 원리 배압 펌프: DuoVane

• 펌핑 속도 전진공 펌프: 300 m3/h

• 펌핑 속도 펌핑 스테이션: 220 – 1800 m3/h (50Hz), 260 – 2160 m3/h (60Hz) (요청 시 상승 가능)

• 최종 압력 : 최대 5 · 10-4 mbar

• 코팅 및 야금에 사용되는 고진공 펌프용 클래식 사전 펌핑 스테이션

• 배수구

• 회전 바퀴/기계 발

• 색상 변형

• 펌핑 스테이션 앞의 밸브

• 펌핑장 앞의 측정 장치

• 펌프 단계 사이의 측정 장치

• 제어 기능이 있는 제어 캐비닛

• ProfiNet 인터페이스

• 스프레이 랜스

• 배리어가스

• 오일필터(기계식/화학식)

• 그리고 훨씬 더