Pfeiffer Vacuum

EVR 116, 기체 조절 밸브, 모터 포함

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개요
  • 대량 가스량
  • 매우 넓은 조절 범위
  • 통합형 모터 제어 전자장치 있음

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PF I39 931
주문 번호: PF I39 931 A
유사 이미지
기술 사양
공급: 전압 24 V DC
공급: 최대 소비량 12 W
기밀 1 · 10-10 Pa m³/s
디스펜서 소켓 플루오로엘라스토머
베이크-아웃 온도: 구동 60 °C | 140 °F | 333 K
베이크-아웃 온도: 하우징 80 °C | 176 °F | 353 K
FKM
제어 RVC 300 또는 IF 200
제어 가능한 최대 기체 유량 1.25 · 103 hPa l/s | 9.38 · 102 Torr l/s | 1.25 · 103 mbar l/s
제어 가능한 최소 기체 유량 5 · 10-6 hPa l/s | 3.75 · 10-6 Torr l/s | 5 · 10-6 mbar l/s
제어 전압 0-10 V DC
주변 온도 5-40 °C | 41-104 °F | 278-313 K
중량 0.75 kg | 1.65 lb
최대 작동 압력 2500 hPa(절대 압력)
최소 작동 압력 1 · 10-8 hPa | 7.5 · 10-9 Torr | 1 · 10-8 mbar
타입 가스 조절 밸브
폐쇄/개방 시간 < 3 / 4 s
하우징/니들/필터 스테인레스 스틸
악세서리
EVR 116용 인터페이스
RVC-EVR/RME 연결 케이블
치수

치수 도면 TIM-RS

특성

특성 곡선 TIM-RS-1

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데이터 시트 PDF KO 2017-11-17 ~ 215.2 KB 다운로드

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