매뉴플레이터

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XYZ 축 매니풀레이터

각 및 길이 보정을 위한 조정 매니풀레이터

벨로우즈로 실링한 회전 동작 피드스루

엘라스토머 실링 피드스루

자기 결합 회전 동작 피드스루

엘라스토머 실링 회전/선형 동작 피드스루

자기 결합 회전/선형 동작 피드스루

벨로우즈로 실링한 선형 동작 피드스루

조작기와 기계적 피드스루는 거친 정밀도에서 고정밀도에 이르는 진공 범위에서 이동을 허용하는 데 사용됩니다.

밀봉된 탄성 중합체 시스템
하우징에서 유도되는 스루 샤프트는 회전 동작과 평행 이동 동작이 가능합니다. 특수한 탄성 중합체 실로 고진공에 대한 적합성을 보장하는 한편, 진공에 적합한 그리스로 원활한 동작이 가능합니다. 이러한 직접 전송으로 진공에서 발생하는 최대 힘 및 모멘트를 자기적으로 결합된 시스템보다 높이는 동시에 동작의 정밀도가 높아졌습니다. 그러나 탄성 중합체 실로 인해 이 제품은 HV 응용 분야에만 적합합니다.

자기적으로 결합된 시스템
자기적으로 결합된 회전/선형 피드스루는 UHV 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 자석 커플링의 도움으로 회전 동작이 대기 측에서 진공으로 전송됩니다. 이로써 직접 피드스루의 필요가 없어지고, 샤프트가 진공 측에 개방된 하우징 내에 들어 있습니다.

밀봉된 격막 벨로우 시스템
0.005 mm 벨로우의 설정 해상도로 조작기는 진공에서 가장 정밀한 동작 성능에 포함됩니다. 동작을 진공으로 전송하는 유연한 요소는 UHV 적합성도 보장하는 격막 벨로우입니다. 이의 정확도는 유격이 없는 재순환 볼 베어링 가이드와 드라이브는 물론 대형 하우징을 사용하여 성취됩니다. UHV에 적합한 회전 동작의 전송은 플랜지에 직접 용접하는 격막 벨로우를 사용하여 성취됩니다.

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