벨로우즈로 실링한 전동식 정밀 선형 동작 피드스루

제품 설명

  • 밀폐형, UHV에 적합합
  • 벨로우즈로 실링함
  • 모터에 의한 진공 구성품의 미세 조정용
  • 편리한 모터 탈거 및 위치 고정 장치에 의한 용이한 베이크 아웃

전동식, 10 mm 조정 범위

  • 고정: 나사 M4 x 5(액추에이터용)
  • 벨로우즈에서의 최대 부하 모멘트: 0.2 N m
  • 수명: 10000 사이클
  • 압력 범위: 1 · 10-9 hPa ~ 500 hPa 과압
  • 작동 온도: 최대 65 °C
  • 전기 구성품 제외 베이크-아웃 온도: 200 °C
  • 전기 구성품 포함 베이크-아웃 온도: 70 °C
  • 축력: 최대 45 N
  • 치수 도면 TIM-RS
명목 직경 스트로크, 행정 [mm] 분해능 정밀도 주문 번호
DN 16 CF 10 0,1 µm 3 µm 420MZF016-010-m

전동식, 25 mm 조정 범위

  • 고정: 나사 M4 x 5(액추에이터용)
  • 벨로우즈에서의 최대 부하 모멘트: 0.2 N m
  • 수명: 10000 사이클
  • 압력 범위: 1 · 10-9 hPa ~ 500 hPa 과압
  • 작동 온도: 최대 65 °C
  • 전기 구성품 제외 베이크-아웃 온도: 200 °C
  • 전기 구성품 포함 베이크-아웃 온도: 70 °C
  • 축력: 최대 45 N
  • 치수 도면 TIM-RS
명목 직경 스트로크, 행정 [mm] 분해능 정밀도 주문 번호
DN 16 CF 25 0,1 µm 3 µm 420MZF016-025-m

노트

ISO 3669 준수 및 ISO/TS 3669-2와 호환 가능한 공칭 규격 DN16 ~ DN250의 플랜지

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Pfeiffer Vacuum Inc.
24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
USA

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