벨로우즈로 실링한 정밀 선형 동작 피드스루

제품 설명

  • 밀폐형, UHV에 적합합
  • 벨로우즈로 실링함

수동, 정확

  • 기밀: 1 · 10-11 Pa m³/s
  • 베이크-아웃 온도: 마이크로미터 나사/피스톤 최대.: 100 °C
  • 베이크-아웃 온도: 피드스루 최대.: 300 °C
  • 수명: 10000 사이클
  • 압력 범위: 1 · 10-9 hPa ~ 500 hPa 과압
  • 작동모드: 마이크로미터 나사
  • 장착 방향: 임의
명목 직경 스트로크, 행정 [mm] 분해능 정밀도 주문 번호
DN 16 CF 10 5 µm 5 µm 420MZF016-010
DN 16 CF 25 10 µm 10 µm 420MZF016-025
DN 40 CF-R 50 5 µm 5 µm PF 631 012-T

수동, 초미세

  • 치수 도면 TIM-RS
명목 직경 스트로크, 행정 [mm] 분해능 정밀도 주문 번호
DN 16 CF 10 0,5 µm 3 µm 420MZF016-010-s

노트

ISO 3669 준수 및 ISO/TS 3669-2와 호환 가능한 공칭 규격 DN16 ~ DN250의 플랜지

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Pfeiffer Vacuum Inc.
24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
USA

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