Z축 정밀 매니풀레이터

  • Z-Axis Precision Manipulator
  • 치수 도면 TIM-RS

고객 가치

  • 최고의 정확도 및 탁월한 재현성
  • 매우 긴 사용 수명
  • 높은 신뢰성
  • 간단하고 인체공학적인 조작의 편의성

제품 설명

  • 볼 베어링 재순환 나사산 드라이브가 있는 볼 베어링 재순환 가이드
  • 유격이 없고 스틱-슬립 효과가 없음
  • 마모성이 없고 정비가 거의 필요없는 가이드 및 드라이브
  • 매우 안정적인 구조로 압력 변동 시 위치 편차를 최소화합니다.
  • 파킹 브레이크는 개별 동작을 방지합니다.
  • 스루 홀이 있는 연결 플랜지, 나사산 구멍이 있는 전진 플랜지
  • 조정이 가능한 스케일 제로 포인트

Z축 정밀 매니풀레이터

  • 기밀: < 1 · 10-11 Pa m³/s
  • 내경: DN 40: 38 mm DN 63: 65 mm
  • 반복 정확도: 5 µm
  • 베이크-아웃 온도: 230 °C
  • 볼 나사 드라이브의 상승: 2 mm/회전
  • 분해능: 5 µm
  • 압력 범위: 1 · 10-10 hPa ~ 대기압
  • 자재: 스테인레스 스틸(다이어프램 벨로우즈: 316L, 플랜지 및 파이프: 304L, 하우징: 304)
  • 작동 온도: -15 ~ 80 °C
  • 장착 방향: 임의
명목 직경 A [mm] B [mm] C [mm] D [mm] E [mm] F [mm] 스트로크 거리 [mm] 주문 번호
DN 40 CF 150 – 250 370 84 175 50 82 100 420MZA040-100
DN 40 CF 150 – 300 420 84 175 50 82 150 420MZA040-150
DN 40 CF 165 – 365 485 84 175 50 82 200 420MZA040-200
DN 40 CF 190 – 490 610 84 175 50 82 300 420MZA040-300
DN 40 CF 220 – 620 740 84 175 50 82 400 420MZA040-400
DN 63 CF 150 – 250 370 128 217 70 82 100 420MZA063-100
DN 63 CF 150 – 300 420 128 217 70 82 150 420MZA063-150
DN 63 CF 165 – 365 485 128 217 70 82 200 420MZA063-200
DN 63 CF 190 – 490 610 128 217 70 82 300 420MZA063-300
DN 63 CF 220 – 620 740 128 217 70 82 400 420MZA063-400
DN 100 CF 190 – 290 410 176 267 91 104 100 420MZA100-100
DN 100 CF 190 – 340 460 176 267 91 104 150 420MZA100-150
DN 100 CF 190 – 390 510 176 267 91 104 200 420MZA100-200
DN 100 CF 190 – 490 610 176 267 91 104 300 420MZA100-300
DN 100 CF 212 – 612 732 176 267 91 104 400 420MZA100-400

노트

  • 옵션: 기타 행정 거리, 사이클 수가 큰 벨로우즈, 스핀들 IT3 또는 IT1의 허용 오차 등급(표준 IT5), 모터 드라이브 개조 키트, 고객맞춤형 부하에 대한 FEM 분석, 벨로우즈 외부 가이드

노트

ISO 3669 준수 및 ISO/TS 3669-2와 호환 가능한 공칭 규격 DN16 ~ DN250의 플랜지
요구에 따라 내부 또는 외부 벨로우스 가이드가 있는 경우에 한하여(데이터 시트 참조). 추가 요금 지불 시 옵션으로서 외부 벨로우즈 가이들 공급 가능(개장은 가능하지 않음).

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