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420MXYZ040-150
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XY축 정밀 조작기, 스테인레스강, DN 40 CF
주문 번호: 420MXYZ040-150

  • 정밀한 3축 조정을 위한 컴팩트한 구조
  • Z 축: 볼 베어링 재순환 나사산 드라이브가 있는 볼 베어링 재순환 가이드
  • XY 축: 정밀 크로스 롤러 가이드
  • 유격이 없고 스틱-슬립 효과가 없음
  • 마모성이 없고 정비가 거의 필요없는 가이드 및 드라이브
  • 매우 안정적인 구조로 압력 변동 시 위치 편차를 최소화합니다
  • 용이한 조작과 판독을 위한 대형 조작 버튼이 있는 XY 축 마이크로 나사
  • Z 축용 파킹 브레이크가 독립적인 동작을 방지합니다
  • 스루 홀이 있는 연결 플랜지, 나사산 구멍이 있는 전진 플랜지
X/Y 편향 ± 12.5 mm | ± 0.49 inch
공칭 직경 DN 40 CF
기밀성 < 1 · 10-11 Pa m3/s | < 7.5 · 10-11 Torr l/s | < 1 · 10-10 mbar l/s
내부 직경 38 mm
베이크아웃 온도 최대 230 °C | 최대 446 °F | 최대 503 K
볼 스크류 드라이브의 피치 2 mm/회전
분해능 5 µm
사용 수명 최대 편향 상태에서 최소 10.000사이클(벨로우즈 간편 교체)
스트로크 150 mm | 5.91 inch
압력 범위 1 · 10-10 hPa ~ 대기압
작동 온도 -15-80 °C | 5-176 °F | 258-353 K
장착 방향 임의
재료 다이어프램 벨로우즈: 스테인레스 스틸 316L, 플랜지 및 파이프: 스테인레스 스틸 304L, 하우징: 스테인레스 스틸 304, XY 단위: 양극 산화 알루미늄
재현 가능한 정밀도 5 µm
정밀도 < 5 µm (XY축)

치수-TIM-RS

A
210 – 360
B
450 mm
C
82 mm
D
321 mm
E
63.5 mm
F
232 mm
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