Pfeiffer Vacuum

건식 루츠 펌핑 스테이션

파이퍼 베큠은 루츠 펌프를 다 스테이지 배압 펌프와 결합한 건식 루츠 펌핑 스테이션을 제공합니다. 이 펌핑 스테이션에서 가능한 높은 펌프 속도로 저압을 달성할 수 있습니다.

건식 루츠 펌핑 스테이션은 반도체 산업과 같은 산업 공정을 위한 최첨단 솔루션입니다. 예를 들어 부하 락 응용 분야 또는 스퍼터링 공정용 배압 펌프와 같이 공정 요구조건이 덜 엄격한 분야에서는 보호용 장비를 줄인 펌핑 스테이션을 사용할 수 있습니다. 당사는 소형 진공실에서 태양광 기술과 디스플레이 패널 제조에서의 최대 처리량에 이르기까지 모든 것을 제공합니다.

이점

  • 건식 무유 흡입실
  • 이 솔루션은 최적화된 펌프 용량과 높은 신뢰성을 제공합니다.

응용 분야

  • 코팅
  • 금속 공학
  • 진공 건조
  • 탈기체
  • 광전지
  • 연구개발
  • 화학 산업
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