게이지

50 Torr 풀 스케일, 최고 160°C까지 온도 제어(가열), DN16 ISO-KF, 측정값의 0.4%의 측정 정확도, P-Control로 인해 압력 제어 밸브와 함께 사용하기에 이상적, 내식성 세라믹 기술, 안정적인 공정 모니터링, 최소한의 영점 편차, 뛰어난 장기적 안정성 및 온도 안정성, 제공된 교정 테스트 보고서, SEMI S2 적합

20 Torr 풀 스케일, 최고 160°C까지 온도 제어(가열), 1/2" 나사, 측정값의 0.4%의 측정 정확도, P-Control로 인해 압력 제어 밸브와 함께 사용하기에 이상적, 내식성 세라믹 기술, 안정적인 공정 모니터링, 최소한의 영점 편차, 뛰어난 장기적 안정성 및 온도 안정성, 제공된 교정 테스트 보고서, SEMI S2 적합

20 Torr 풀 스케일, 최고 160°C까지 온도 제어(가열), 8 VCR 피메일, 측정값의 0.4%의 측정 정확도, P-Control로 인해 압력 제어 밸브와 함께 사용하기에 이상적, 내식성 세라믹 기술, 안정적인 공정 모니터링, 최소한의 영점 편차, 뛰어난 장기적 안정성 및 온도 안정성, 제공된 교정 테스트 보고서, SEMI S2 적합

20 Torr 풀 스케일, 최고 160°C까지 온도 제어(가열), DN 16 CF-R, 측정값의 0.4%의 측정 정확도, P-Control로 인해 압력 제어 밸브와 함께 사용하기에 이상적, 내식성 세라믹 기술, 안정적인 공정 모니터링, 최소한의 영점 편차, 뛰어난 장기적 안정성 및 온도 안정성, 제공된 교정 테스트 보고서, SEMI S2 적합

20 Torr 풀 스케일, 최고 160°C까지 온도 제어(가열), DN16 ISO-KF, 측정값의 0.4%의 측정 정확도, P-Control로 인해 압력 제어 밸브와 함께 사용하기에 이상적, 내식성 세라믹 기술, 안정적인 공정 모니터링, 최소한의 영점 편차, 뛰어난 장기적 안정성 및 온도 안정성, 제공된 교정 테스트 보고서, SEMI S2 적합

초고진공 영역안에서 전압 측정과 컨트롤, Bayard-Alpert 게이지 IMR 420 또는 추출기 게이지 IMR 430의 작동, 2 개의 IMR 게이지는 자동 전환 (백업 작동)과 동시에 연결할 수 있습니다, 또한 2개의 ActiveLine Pirani 혹은 Capacitance 게이지를 연결할 수 있습니다, 압력을 수치값, 막대그래프 및 시간별 압력으로 표시, 리모트를 통해 방출을 켜고 끄는 것도 가능합니다, 채널, 방출, 탈 가스, 채널 및 트리거 측정을위한 릴레이 출력, 자동 방출 전류 차단, 테이블에 올려놓거나 랙에 장착해서 사용 가능, 옵션 Profibus 인터페이스 카드 용 슬롯 IF 400 P