真空技术书籍,第二版

2.3.2 分子流导

现在,让我们也考虑分子流范围内相同管道的流导。 管道的 直径为 0.07 m 且长度为 2 m。 两个 90° 弯管每个拉伸 长 度为 0.235 即总长度 l = 2.47 m。 根据第 1 章公式 1-30, 管道阻力为:

$L_{Rm}=\frac{\bar{c} \cdot \pi \cdot d^3}{12 \cdot l}=$ 1.71 · 10-2 m3 s-1

其中,在 $T$ = 293 K 时,空气的 $\bar{c}$= 471 m s-1 管口的孔口流导已经考虑在内。

使用以下公式得出有效的体积流率:

$S_{eff}=\frac{S_v \cdot L_{Rm}}{S_v + L_{Rm}}=$1.09 · 10-2 m3 s-1 mit $S_v$=2.97 · 10-2 m3 s-1

在分子流范围内,前级泵的抽速将减少到接近三分之一。在 该范围内,要特别注意泵和真空室之间的短管道要短而粗。 这特别适用于涡轮分子泵,在理想情况下,涡轮分子泵是通 过法兰直接连接至真空室上。