真空技术书籍,第二版

7.2.5 局部泄漏检测

局部泄漏检测用于确定试样中的泄漏。

在真空方法中,试样(容器)被连接至泄漏探测器,并使用 喷枪将氦喷洒到可疑区域上。如果试样中的压力是在分子流范围内,即 10-3 hPa,测试速度将取决于试样的体积和氦 测试设置的有效抽速。试样越小或所用泄漏探测器或辅助泵 的抽速越大,就越快获得结果。在较高压力下,尤其是在大 于 1 hPa 的层流范围内,显示的速度会慢得多,并将受到泄 漏探测器前级泵抽速的约束。

在吸枪方法中,根据图 7.6,试样 (3) 充有超压的测试气 体。吸枪探头 (2) 被连接到泄漏探测器的测试气体连接上。 从试样泄漏点逸出的测试气体可以使用探头通过嗅探进行 检测

使用吸枪和真空方法的局部泄漏检测

3

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测试气体

测试气体

图 7.6: 使用吸枪和真空方法的局部泄漏检测

使用局部泄漏检测可以确定各个泄漏点。然而,却无法确定所有泄漏总数。这就是该方法对于为质量保证目的提供 GO/NO GO 指示只具有有限适用性的原因。

  吸枪 泄漏检测 真空 泄漏检测
方法 嗅探充满 测试气体的测试对象 使用氦喷洒
机械强度 针对超压 针对来自真空 外部的气压(压差 1000 hPa)
检测限 < 1 · 10-8 Pa m3 s-1 < 5 · 10-13 Pa m3 s-1

图 7.1: 使用吸枪和真空方法的局部泄漏检测

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