Pfeiffer Vacuum

7.2.2 带有石英视窗探测器的检漏仪的设计

质谱探测器通过在磁场或电场中分离后进行电离来分离混合 气体,而石英视窗探测器利用气体不同的渗透性能。

石英视窗传感器的工作原理

图 7.4: 石英视窗传感器的工作原理

示踪气体被传送到加热膜片的石英表面。石英膜片的载体层 包括有几千个孔的硅晶片,所有进入气体的原子和分子可以 通过这些孔到达石英膜片。分离本身发生在石英膜片上,膜 片只能允许氦穿过,其他气体则不能穿过。膜片的厚度和温 度是氦测试气体渗透性的影响因素。在气体已经穿过膜片 后,已经进入的示踪气体被电离,且离子电流是泄漏率的度 量标准。

系统上 MiniTest 石英视窗泄漏探测器的真空图

图 7.5: 系统上 MiniTest 石英视窗泄漏探测器的真空图

该装置通过真空连接法兰 (1) 连接至待测试的系统 (6)。连接 (3) 可以选择地连接至附加的真空泵上。为准备泄漏测试,该 泵可以抽空该装置的真空系统,而切断阀 (9) 仍关闭。

该切断阀 (9) 在测试时打开。可选的泵在较高系统压力下可 以产生减少传感器响应时间的气体流量。

传感器 (2) 测量真空中氦的分压。系统上的泄漏检测(7) 用于 确定响应时间和校准装置。

为保护传感器及在强信号后清洗装置,可以进行自动清洗。 阀 (4) 打开,使用大气简单地清洗带有节流阀 (5) 和传感器的 入口。