真空技术书籍,第二版

7.2.4 校准检漏仪

检漏仪必须进行校准,以确定泄漏率。这使用商用的测试漏 来实现,其在限定条件下产生已知的可重复测试气体速率。 商用泄漏检测以有或无测试气体储气罐的渗透泄漏或毛细管 泄漏的形式提供。泄漏探测器通常配备有氦储罐的渗透泄 漏。对于校准,通常通过内置的适当工作循环自动执行校 准。

为获得精确的测量,每次使用前都应该校准装置。为测试使 用附加真空泵的大型测试样本,使用外部测试漏是有利的。 测量精度可以取决于测试漏连接的位置。因此,有必要考虑 真空区域内的流动条件。使用外部测试漏也有利于确定最大 的响应时间。

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