Pfeiffer Vacuum

7.2 使用示踪气体进行的泄漏检测

普发真空采用基于质谱仪和石英视窗传感器的泄漏探测器来 检测示踪气体的存在。质谱仪对混合气体进行电离,并在其 质荷比的基础上分离出所需的示踪气体。石英视窗传感器是 基于轻型气体通过石英膜的选择性渗透。