真空技术书籍,第二版

7.3.2 使用检漏仪与使用四级杆质谱仪的测试结果比较

四级杆质谱仪主要用于分析混合气体的组成。它们需要高真 空范围内的测试压力。质谱仪几乎可以与任何示踪气体一起 使用,因为它们的使用并不依赖于经典的示踪气体氦气。残 余气体分析仪无需任何特殊的测试气体就可以检测真空系统 中的泄漏。它们分析空气中气体的质量。

有空气泄漏的接收器的质谱

图 7.9: 有空气泄漏的接收器的质谱

用于示踪气体氦气的检漏仪目前没有在四级杆质谱仪的基础 上设计的。它们具有更大的坚实性和长期稳定性以及结果和 数据解读更容易量化, 这些特性导致:在扇形磁场质谱仪基 础上的上述所有质谱检漏仪主要用于此目的。

具有基于石英视窗传感器的检漏仪也用于不需要高灵敏度质 谱检漏仪的应用。具有石英视窗传感器的装置使在非常高的 测试压力和高水蒸气接触下工作成为可能。

  检漏仪 RGA / QMS
泄漏,定位
泄漏,定量
泄漏,虚漏
渗透 可进行粗略估计,渗 透与解吸之间没有区别 是,数据解读是可能的
解吸 是,有关解吸气体的 结论
测试压力
检测限制 5 · 10-13 Pa m3 s-1
(扇 形场 MS)
5 · 10-9 Pa m3 s-1
(石英视窗探测器)
离子电流取决于杆系统 和探测器
一般 定量泄漏率
测量
可能
定性仪器,定量复杂, 需要更多专业知识,提 供更多信息

图 7.3: 检漏仪和四级杆质谱仪的比较

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