Pfeiffer Vacuum

1.2.7 pV 气流量

用一般气体方程(公式 1-6)除以 t 时间求出气体流量

\[q_{pV}=\frac{p\cdot V}t = \frac{m\cdot R\cdot T}{M\cdot t}\]

公式 1-15: pV 气流量

$q_{pV}$ pV 气流量 [Pa m3 s-1]

从方程的右边可以看出, 恒定质量的流量在恒温 T 时被置 换。这也被称为 pV 流量或气体吞吐量。吞吐量是真空泵输 送的气体流量。

\[q_{pV} = S\cdot p = \frac{dV}{dt}\cdot p\]

公式 1-16: 真空泵的气流量

用气流量除以入口压力求出体积流量,真空泵的抽速:

\[S = \frac{dV}{dt}\]

公式 1-17: 体积流量或真空泵的抽速

Table 1.8中给出了各种气流量单位的换算表。

Pa m3 / s = W mbar l / s Torr l / s atm cm3 / s lusec sccm slm Mol / s
Pa m3 / s 1 10 7.5 9.87 7.5·103 592 0.592 4.41·10-4
mbar l / s 0.1 1 0.75 0.987 750 59.2 5.92·10-2 4.41·10-5
Torr l / s 0.133 1.33 1 1.32 1,000 78.9 7.89·10-2 5.85·10-5
atm cm3 / s 0.101 1.01 0.76 1 760 59.8 5.98·10-2 4.45·10-5
lusec 1.33·10-4 1.33·10-3 10-3 1.32·10-3 1 7.89·10-2 7.89·10-5 5.86·10-8
sccm 1.69·10-3 1.69·10-2 1.27·10-2 1.67·10-2 12.7 1 10-3 7.45·10-7
slm 1.69 16.9 12.7 16.7 1.27·104 1,000 1 7.45·10-4
Mol / s 2.27·103 2.27·104 1.7·104 2.24·104 1.7·107 1.34·106 1.34·103 1

图 1.8: 中给出了各种气流量单位的换算表。