Pfeiffer Vacuum

1.3.1 污染

当对真空室进行抽空时,真空室必须干净,以尽快达到所需 压力。真空系统典型的污染物包括

  • 生产真空系统产生的残渣 表面、螺丝钉和密封件上的油脂
  • 与应用相关的污染物 过程反应产物、灰尘和颗粒
  • 环境相关的污染物 冷凝蒸汽,特别是吸附在容器壁上的水分。

因此,在安装真空设备时有必要确保部件尽可能干净。真空 室中安装的所有部件必须干净、无油脂。安装的所有密封件 必须干燥。如果无法避免使用真空润滑脂,且根本是辅助安 装而不是作为密封胶,必须非常谨慎地使用。如果将要产生 高真空或超高真空,在装配过程中必须佩带干净、不掉毛、 无粉手套。

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