真空技术书籍,第二版

1.3.6 充气保护

为避免不必要的污染,应该使用干燥的氮气代替空气对真空 室进行充气保护。以防止水蒸气和环境空气中的其它可凝物 (如溶剂蒸汽)沉积(吸附)在容器壁上。与真空腔室抽空 作业相比,解吸过程都是十分缓慢的,所以每种可凝物都会 延长后续的抽空时间。如果已经使用惰性气体对容器进行充 气保护,那么只有在需要在容器内部进行必要作业时才打开 容器。由于维修人员动作造成的对流或由于扩散,长时间打 开容器将会导致环境空气中的水蒸气进入其中。