真空技术书籍,第二版

1.3.6 排气

为避免不必要的污染,应该使用干燥的氮气代替空气对真空 室进行排气。这防止水蒸气和环境空气中的其他可冷凝物 (如溶剂蒸汽)沉积(吸附)在容器壁上。与抽空操作相 比,由于解吸过程缓慢,每种冷凝物都会延长后续的排空时 间。如果已经使用惰性气体对容器进行排气,只有在需要在 容器内部进行必要的工作时才打开容器。由于维修人员动作 造成的对流或由于扩散,长时间打开容器将会导致环境空气 中的水蒸气进入。

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