真空技术书籍,第二版

1.3.5 残余气体组成

在超高真空中工作时,重要的是,在开始真空工艺之前或 为了监控工艺,需要了解残余气体的组成。水的百分比 (m/e = 18) 及其不完整部分 OH (m/e = 17) 在真空室不干 净或烘烤不彻底的情况下降会很大。在 N2/O2之比大约为 4:1 时,可通过氮 (m/e = 28) 和氧 (m/e = 32) 的峰值来确定泄漏。

可在完全烘烤好的腔室中发现氢 (m/e = 2), 水 (m/e = 17 and 18), 一氧化碳 (m/e = 28) 和二氧化碳 (m/e = 44)。 在使用涡轮分子泵时,将不会发现烃。由于高分子量和所 得到的高压缩比,他们有效地被排除在腔室之外。通过涡 轮分子泵排空的清洁容器的典型残余气体谱所图 1.10所示。

通过涡轮分子泵排空容器的典型残余气体谱

图 1.10:通过涡轮分子泵排空容器的典型残余气体谱

有关使用质谱仪的更多信息见第 6 章“质谱仪和残余气体分析”。

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