Pfeiffer Vacuum

5.3 产品组合概览

系列

普发真空以单个传感器或组合传感器的形式提供主动式真空 计,被动式真空计作为单个传感器。提供具有不同电气接口 的三大产品系列和传感器电子设备。

    压力范围
真空 超高  
hPa 10-11 10-10 10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102 103 104
真空计 型号                                  
DigiLine
单独压电式真空计 CPT 200
压电式/皮拉尼真空计 RPT 200
皮拉尼真空计 PPT 200
皮拉尼/冷阴极真空计 MPT 200
皮拉尼/Bayard-Alpert 真空计 HPT 200
ActiveLine
压电式真空计 APR 250
APR 260
APR 262
APR 265
APR 266
APR 267
电容式温度补偿真空计 CMR 361
CMR 362
CMR 363
MR 364
CMR 365
电容式温度控制真空计 CMR 371
CMR 372
CMR 373
CMR 374
CMR 375
皮拉尼/电容式真空计 PCR 280
皮拉尼真空计 TPR 280
TPR 281
冷阴极真空计 IKR 251
IKR 261
IKR 270
皮拉尼/冷阴极真空计 PKR 251
PKR 261
热阴极真空计 IMR 265
皮拉尼/Bayard-Alpert 真空计 PBR 260
ModulLine
皮拉尼真空计 TPR 010
TPR 017
TPR 018
冷阴极真空计 IKR 050
IKR 060
IKR 070

根据测量原理,范围限制处的读数可能不是很准确。

表 5.2: 真空计选择指南

Page: