真空技术书籍,第二版

5.3.2 ActiveLine

ActiveLine 系列包括三种控制单元和八个主动式真空计,具 有 0 – 10 伏模拟输出。所有发射机都配备了相同的连接器组 件,因此可以在控制单元上使用相同的测量电缆进行操作。 测量电缆可提供 1 到 50 米的标准长度。

主动式压电真空计 APR 具有六个型号,涵盖从 5.5 MPa (55 bar) 至 10 Pa (0.1 mbar) 五个测量范围。

电容式膜片真空计 CMR 可提供温度补偿和温度调节两个版本,每个都从 1100 hPa – 10-5 hPa具有五个测量范围。使用具有不同额定值(满量程 = F.S.)的膜片产生以下类别:

  • 1,000 hPa F.S. 压力范围 1,100 至 10-1 hPa
  • 100 hPa F.S. 压力范围 110 至 10-2 hPa
  • 10 hPa F.S. 压力范围 11 至 10-3 hPa
  • 1 hPa F.S. 压力范围 1.1 至 10-4 hPa
  • 0.1 hPa F.S. 压力范围 0.11 至 10-5 hPa

来自普发真空这些陶瓷技术真空计在很多应用中具有可靠的 业绩记录,特别是在腐蚀性应用中。

对于在显微技术中的使用,其常用单位为 Torr 和 mTorr, 电容式膜片真空计 CCR 可以 Torr 提供额定值:

  • 1,000 Torr F.S. 压力范围 1,332 至 10-1 hPa
  • 100 Torr F.S. 压力范围 133 至 10-2 hPa
  • 10 Torr F.S. 压力范围 13.3 至 10-3 hPa
  • 1 Torr F.S. 压力范围 1.33 至 10-4 hPa
  • 0.1 Torr F.S. 压力范围 0.13 至 10-5 hPa

CCR 系列具有 D-Sub 连接器组件,且其电源和输出电压可 与其他商业电容式发射机兼容。然而,由于这些特点,它们 不能使用 ActiveLine 控制单元进行操作。

具有两种主动式 皮拉尼真空计 TPR 用于 1,000 hPa 至 5 · 10-5 hPa 的中真空范围和三种主动式 冷阴极真空计 IKR 测量范围在 10-2 至 5 · 10-11 hPa之间,这使得单传 感器 ActiveLine 发射机的范围很完美。

TPR皮拉尼真空计也可以连接到 DCU 泵站显示控制单元,从而无需额外费用就提供压力读数。

主动式 热阴极真空计 IMR 265 传感器中的电极(阳极、阴 极、收集器)彼此之间的间隙设计的极小。因此,即使在压力 p < 10-2 hPa时,分子流仍占主导地位,从而可以测量那 里的离子电流。该发射机的另一个优势是,与 Bayard-Alpert 设计相比,对污染具有较低的敏感性,这使得它非常适合于 控制主要在较低中真空范围的真空工艺。

可提供以下具有组合传感器的主动式真空计:

  • 电容式膜片皮拉尼组合真空计 PCR 280 用于压力范围 1,500 至 5 · 10-4 hPa; 高效的皮拉尼传感器与膜片传感器 组合在粗真空范围内很准确
  • 皮拉尼冷阴极组合真空计 PKR 251 和 261 用于压力范围 1,000 to 5 · 10-9 hPa;稳健传感器的理想组合,适用于范 围广泛的真空应用
  • 皮拉尼/Bayard-Alpert 组合真空计 PBR 260 用于压力范围 1,000 to 5 · 10-10 hPa;与皮拉尼传感器提供的热阴极 灯丝的安全性相结合,在高、超高真空范围内提供理想的 压力测量

ActiveLine 真空计具有以下优势:

涵盖整个真空范围

  • 三种控制单元 TPG 261、TPG 262TPG 256 A 用于所 有要求配置的一个、两个或六个测量仪
  • 具有自动真空计识别的控制单元防止安装错误
  • 可使用任何控制单元操作每一个真空计
  • 通过为所有真空计使用相同标准的电缆而易于布线
ActiveLine 应用概念

图 5.10: ActiveLine 应用概念

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