Pfeiffer Vacuum

5.3.1 DigiLine

DigiLine 范围中的主动式真空计通过串行 RS-485 或现场总 线接口提供其压力信号。它们配有 24 VDC。不同应用选项 如 图 5.9 所述。

应用概念 DigiLine

图 5.9: 应用概念 DigiLine

使用 DPG 202 电源单元最多可操作两个真空计及显示其压力 值。DPG 202 具有连接 PC 的 USB 接口。DigiLine 真空计 的信号也可直接通过 PLC 或 PC 处理并通过 DokuStar Plus 软件显示。

DigiLine 真空计的可选版本提供 Profibus-DP 和 DeviceNet 现场总线标准接口。这使得这些真空计很容易集成到设备控 制系统的现场总线网络中,通过使用较少的布线和电缆以及 快速初始启动,使其具有所有已知的节约优势。

另一个选择是具有额外模拟输出和切换点的 DigiLine 真空 计。模拟输出可用于诸如设置发射机的本地压力显示之类的 任务,该发射机链接至中央控制系统。切换点允许提供硬连 线的安全功能,而不依赖于控制计算机。

主动式 DigiLine 真空计具有以下优势:

  • 从 5 · 10-10 至 2,000 hPa 的压力范围涵盖整个真空范围
  • 可自由组合部件
  • 得益于数字信号的安全数据传输
  • 压力值进行数值传输,所以无需任何曲线校正或转换
  • Profibus-DP 和 DeviceNet 现场总线接口
  • 数据可以直接在 PC 使用 DokuStar Plus 软件进行分析
  • 便于调节的遥控
  • 防护等级 IP54 和 DIN M12 连接器组件用于在恶劣环境中 可靠的运行

主动式 DigiLine 单传感器真空计可以压膜系统 CPT 200 (2,000 – 1 hPa) 和皮拉尼系统 PPT 200 (1,000-10-4 hPa) 的 形式提供。

DigiLine 系列可提供以下具有组合传感器的真空计:

  • 压电式皮拉尼组合 RPT 200. 由于用于压力 p >10 10 hPa 的皮拉尼真空计的导热系数影 响不是压力的原因,所以膜片真空计用于压力 p >10 10 hPa 的情况。这为整个测量范围从 1,200 至 1 · 10-4 hPa 提供 了良好的精度,使得该真空计能够精确控制过程,如腔室 排气。
  • 皮拉尼冷阴极组合 MPT 200。 该组合涵盖压力范围从 1,000 至 5 · 10-9 hPa。冷阴极测量 传感器的气体放电由使用皮拉尼传感器测量的压力启动。 使用该方法防止冷阴极在过大压力下意外激活,从而避免 污染。
  • 皮拉尼/Bayard-Alpert 组合 HPT 200。 这涵盖压力范围从 1,000 至 5 · 10-10 hPa。由皮拉尼传感 器监控的压力防止热阴极真空计在过高温度下操作,并防 止热阴极烧坏。这使得可实现非常长的阴极使用寿命。
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