Pfeiffer Vacuum

5.2 应用说明

选择和安装真空计时,必须考虑其特性和真空测量的特殊 性:

  • 由于真空室中存在潜在的压力梯度,适当选择安装位置。
  • 表面和密封材料呈现脱气现象。因此真空计可指示的压力 高于真空室压力。连接法兰因此应该尽可能的短,且密封 件数量减少到最小。
  • 电离真空计可以具有抽运效应,因此指示的压力低于真空 室中的实际压力。
  • 冷阴极真空计具有固有的溅射效应,这在中真空范围内与 重型气体(如氩)一起操作时尤为明显。这可导致不一致 和不准确的读数。
  • 当烃类存在时,电离真空计受到有机分子分解产物的污 染。如同溅射效应一样,读数可以被歪曲或不一致。
  • 必须选择电离真空计的开关点,以避免因上述现象导致的 污染。
  • 强磁场和电场会影响真空计的功能。这尤其适用于电离真 空计。
  • 为能够产生超高真空,必须对真空设备,包括真空计进行 烘烤。必须遵守技术数据中规定的最大烘烤温度和条件。

如果受到污染,冷阴极真空计可以很容易地拆卸和清洗。使 用其他测量原理的,通常可以更换传感器。应该谨记,真空 计会受到一定程度的磨损和污染,因此每隔一段时间就需要 更换。由于操作条件范围广泛,因此不可能提供更换间隔的 通用建议。

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