真空技术书籍,第二版

5.2.1 测量范围

纯机械刻度盘(弹簧压力或波登管压力计)用在 1,000 – 1 hPa 的压力范围;然而,这些真空计仅提供有限的精度,且 只能在安装点直接读取。膜片真空计(压电传感器或电容式 传感器)用于获得更精确的测量并用于远程显示读数。

皮拉尼热传导真空计用于 10 hPa 和 10-4 hPa 之间的测量。 特殊的“高压”的热阴极电离真空计在压力 $p$ < 10-2 hPa 时也 可以使用。

冷阴极电离真空计或 Bayard-Alpert(B-A) 电离真空计用于 压力小于 10-3 hPa 的测量,后者用于清洁的条件和严格精度 要求的情况下使用。使用两个或更多传感器组合来涵盖使用 过程中的整个压力范围也是个不错的想法。

压力测量范围和测量原理

图 5.8: 压力测量范围和测量原理

如果使用膜片真空计和皮拉尼真空计,则需产生压力开关点 以仅在压力足够低的情况下才激活电离真空计,从而保护它 们不受到污染或不被阴极加热烧坏。因此,我们还提供带自 动切换的组合传感器,如下所述。