Pfeiffer Vacuum

5.1 总压测量的基本原理

压力被定义为每单位面积的受力大小: $p = F/A$ (公式 1-3),其中 $F$ 表示受力大小,$A$ 表示被受力面积。压力的 SI 单位 是 1 N / m² = 1 Pa。其他压力常用单位有: 1 mbar = 1 hPa = 100 Pa and 1 Torr = 133.322 Pa。如果通过施加在物体面 积上的力的大小来测量压力,则压力测量与气体类型无关。 在普发真空智能手机应用程序中心 (www.pfeiffer-vacuum.com/zh/) 中可找到真空技术中所有常用压力单位的转换工 具。

在受力基础上的压力测量在压力低于 1 hPa 时达到其极限, 因为所施加的力太小。因此,必须使用其他方法。例如,可 通过测量封闭空间中气体的导热系数,或者可以电离气体分 子并测量电极之间的离子电流。因此,根据气体属性来确定 压力大小的这些间接测量方法,根据气体类型的而不同,不 断提供与测量结果。

在真空技术中,没有任何一种单一的测量方法能够涵盖整个 压力范围。因此,有必要使用不同的传感器。压力传感器的 选择标准是基于各种条件的,如:

  • 要检测的压力范围
  • 气体组成:惰性或腐蚀性
  • 所需精度和可重复性
  • 环境条件,如放射性
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