Pfeiffer Vacuum

4.8.1 设计/工作原理

侧槽高真空泵的工作范围从气压到高真空范围。该泵是侧槽 泵(压力范围 1,000 至 5 hPa,层流)与 Holweck 级(压力 范围 5 至 10-5 hPa,过渡和分子流)。

侧槽真空泵的工作原理

图 4.20: 侧槽真空泵的工作原理

侧槽真空泵的泵系统(图 4.20)包括一个转子盘 (1),其 具有分布在外周和环状工作室上的叶片 (2),以及侧槽 (3)。 侧槽通过断路器 (4) 在某一点收窄至圆盘外形。通过旋转转 子叶片产生的螺旋流从入口流动到出口产生泵送作用。这导 致入口 (5) 和出口 (6) 之间的压差。通过将多个泵级串联连接 可实现较低的极限压力。

在压力在 1 和 20 hPa 之间时,泵离开层流范围,且 Holweck 级负责气体的置换。

为适应侧槽泵级仍然相当高的压力,Holweck 通道在真空侧 很小且间隙很窄。在吸入侧使用较大的通道横截面,以提高 抽速。