真空技术书籍,第二版

4.8.2 应用

侧槽真空泵特别适合于产生清洁高真空。其全干式工作,因 为它仅在大气侧有一个油润滑轴承。它非常适合于快速排空 预真空锁或传输室,因为无需任何前级泵或旁路管道。该泵 可用作独立泵,也可用作涡轮分子泵的前级泵。由于狭窄间 隙,不能泵送腐蚀性气体、冷凝物和颗粒物质。

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