Pfeiffer Vacuum

4.6.6 产品组合概览

4.6.6.1 水冷却、流程泵

ACP 120 / ACP 120 G 的抽速和最终压力可通过将其与罗茨泵组合而实现进一步增加。优化的泵版本可用于更大的体积。

为电源频率为 50 Hz 标准所提供的技术数据不超过 1 m3。 SA 203 H 和 A 1803 H 型泵的特殊版本适合于体积高达 50 m3

适用于非腐蚀性应用的多级罗茨泵
型号 抽速 有/无净化气体的极限压力 应用
ACP 120 95 m³ · h-1 3 · 10-2 hPa 体积达 1 m3的预真空锁和传输室、非腐蚀性气体、稀有 气体、低温泵再生、使用非腐蚀性气体的涡轮分子泵的前 级泵
ACP 120 G 95 m³ · h-1 9 · 10-2 with 35 slm purge gas
A100 L 100 m³ · h-1 6.6 · 10-3 hPa
A100 L ES 100 m³ · h-1 7 · 10-4 hPa

图 4.16: 适用于非腐蚀性应用的水冷式多级罗茨泵的性能数据

适用于腐蚀性应用的多级罗茨泵
型号 抽速 有/无净化气体的极限压力 应用
A 103 P 120 m³ · h-1 6.5 · 10-3 hPa 2.6 · 10-2 hPa mit 20 slm Spülgas 干蚀刻(氧化物和聚酯) 灰化 剥离 RTP 注入
A 603 P 480 m³ · h-1 5 · 10-4 hPa 2 · 10-3 hPa with 20 slm purge gas
A 1003 P 900 m³ · h-1 3 · 10-4 hPa 1 · 10-3 hPa mit 20 slm Spülgas

图 4.17: 适用于腐蚀性应用的 P 系列水冷式多级罗茨泵的性能数据

适用于腐蚀性应用的多级罗茨泵(苛刻工艺)
型号 抽速 有/无净化气体的极限压力 应用
A 203 H 130 m³ · h-1 6 · 10-2 hPa 5 · 10-1 with 50 slm purge gas 金属蚀刻 CVD (PECVD, SACVD, LPCVD) ALD 取向附生 干蚀刻
A 803 H 600 m³ · h-1 1 · 10-3 hPa 1 · 10-2 hPa with 50 slm purge gas
A 1503 H 1,100 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 9 · 10-3 hPa with 50 slm purge gas
A 1803 H 1,650 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 9 · 10-3 hPa with 50 slm purge gas
AD 73 KH 4,700 m³ · h-1 8 · 10-4 hPa 3 · 10-3 hPa with 50 slm purge gas

图 4.18: 适用于腐蚀性应用的 H 系列水冷式多级罗茨泵的性能数据(苛刻工艺)

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