真空技术书籍,第二版

4.6.4 工艺化学

在涂层工艺中,特别是在平面屏幕半导体生产和太阳能行业 中,如本章介绍中所说明的一样,真空泵的耐蚀性具有重要 的意义。除工艺兼容性外,占用空间小和低运营成本是特别 重要的泵体参数。与先前型号相比,P 系列通过降低达 53% 的电源输入满足了这些要求,同时保持相同的占用空间。

该泵系列是基于 A 103 P 空运行流程泵。我们已采用了该系 列的两个型号并辅以罗茨泵用于过程压力范围内提高了的抽 速和气体吞吐量。由于 A 103 P 的六级设计和节能电机,电 源输入保持在低水平。A 103 P 的六级设计降低了各级之间 的差压,也降低了泵的电源输入。除六级外,大型进气级和 高转速允许高抽速和低极限压力。

将消声器直接安置在泵体上形成紧凑的泵设计,并通过泵体 对消声器直接加热而无需额外的加热套实现了节约能源。温 度控制和连续检测整个泵的加热是必要的,以防止反应副产 物的冷凝。

由于 P 系列的待机选项,不仅泵使用较少的冷却水,而且还 减少过程操作之外的冲洗气体消耗,这导致运营成本的降 低。

广泛的活化和控制选项不仅允许手动控制模式,还允许通过 系统控制和监控网络连接进行控制。重要参数可直接输出并 导出用于统计评估。

P 系列符合 CE 和 SEMI S2 要求。

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