真空技术书籍,第二版

4.6.4 化学工艺

在涂层工艺中,特别是半导体生产和太阳能行业中,如本章 介绍中所说明的一样,真空泵的耐蚀性具有重要的意义。除 工艺兼容性外,占用空间小和低运行成本是特别重要的泵性 能参数。与先前型号相比,P 系列通过降低达 53% 的电源输 入满足了这些要求,同时保持相同的占用空间。

该泵系列是基于 A 103 P 干式真空泵。我们已采用了该系列 的两个型号并辅以罗茨泵用于工艺压力范围内提高了抽速和 气体流量。由于 A 103 P 的六级设计和节能电机,电源输入 保持在低水平。A 103 P 的六级设计降低了各级之间的差 压, 也降低了泵的电源输入。除六级外,大型进气级和高转 速代表高抽速和低极限压力。

将消声器直接安置在泵体上形成紧凑的设计,并通过泵体对 消声器直接加热而无需额外的加热套实现了节约能源。温度 控制和连续检测整个泵的受热是必要的,以防止反应副产物 的冷凝

由于 P 系列的待机选项,不仅泵使用较少的冷却水,而且还 减少过程操作之外的冲洗气体消耗,这导致运行成本的降 低。

广泛的活化和控制选项不仅允许手动控制模式,还允许通过 系统控制和监控网络连接进行控制。重要参数可直接输出并 导致用于统计评估。

P 系列符合 CE 和 SEMI S2 要求。