真空技术书籍,第二版

4.6.5 苛刻化学工艺

工艺的持续发展,特别是在半导体和太阳行业中,对所用真 空泵不断地提出新的要求。基于多级罗茨泵的可靠技术,普 发真空凭借其 H 系列为这些行业领域中的苛刻工艺提供完美 的解决方案。与先前泵解决方案相比,过程压力下的气体流 量、 粒子耐受性和耐冷凝性已显著提高。

与 P(用于一般工艺)系列泵一样,H 系列(用于苛刻工 艺)泵配备了温度控制和惰性气体冲洗系统。但是,用于优 化工艺调节的参数范围比 P 系列泵更广。

203 H 横截面

图 4.14: 203 H 的横截面图

该泵系列是基于 A 203 H 大干式真空泵。我们已采用了该系 列的另外三个型号并辅以罗茨泵用于过程压力范围内提高了 的抽速和气体流量。由于使用了特殊材料,这些泵的腐蚀性 气体设备使其还可使用强氧化剂,如 NF3。该泵宽泛的温度 范围使其能够适应各种不同的工艺,如低温下的钨沉积或高 温下的氮化物沉积。高效的电机产生低压力下的能源节约, 并因其高扭矩,在泵停机后能提供良好的再启动性能。

1503 H 流程泵站

图 4.15: 1503 H 工艺泵组

得益于它们相同的接口和相同的连接,A3H 系列型号可与 P 系列泵理想兼容。这意味着,如果现有生产设备上发生工艺 改变,通过更换泵,使用最小的安装工作就可获得优化的泵 解决方案。

使用第三级罗茨辅助 A 1803 H 型号,可提供紧凑、极其强 大的抽气系统,具有最大抽速,适合于 CVD 工艺。AD 73 KH 在干式真空泵上采用变频控制的罗茨泵,罗茨泵在其本 身的框架内具有额定抽速 4,500 m³ · h-1 。由于模块化结构,安装很容易,且系统中的各个泵可单独取出,并在维修工作 进行的情况下进行保养。进气侧的罗茨泵变频器允许在宽泛 的气体流量范围对工艺参数进行调整,并允许各种不同的过 程气体。

普发真空不断关注行业各个领域中工艺的动态发展,并在未 来将继续提供优化的泵解决方案以满足这些需求。在第 8 章“ 污染管理解决方案”中给出了初步概述。