Pfeiffer Vacuum

4.6.1 设计/工作原理

如先前章节中所描述的泵一样,本节中描述的罗茨真空泵属 于在技术上空运行的旋转排量真空泵的范畴。在本节中,我 们讨论适用于腐蚀性工艺的泵以及源自这些用于预真空锁和 传输室的泵。

多级罗茨泵、流程泵的工作原理

图 4.11: 多级罗茨泵、流程泵的工作原理

在该泵中,两个同步反向旋转的转子 (1) 在单个壳体 (2) 中非 接触旋转(图 4.11)。该转子具有 8 字形结构,且相互 之间由窄间隙分离开来。有四到六对转子位于转子轴上。每 个转子腔通过带有喷气口的定子盘与其他转子分离开来。输 送的气体从入口 (3) 被抽到出口。垂直泵送方向在流程泵中 始终很重要。因此,排污口通道中各级之间的空间可用作粒 子陷阱。这避免泵堵塞的最佳方式。

由于吸入室中无摩擦,罗茨真空泵可在高达 6,000 rpm 的高 转速下操作。转子质量围绕轴线对称分布还产生完美的动态 平衡,这意味着,尽管其转速很高,泵的运行却极为安静。

为了避免化学物质在泵和消声器中冷凝,可通过调节冷却水 流量或通过具有加热套的电加热对这些进行回火。如果出口 消声器分开配置,这需要一个额外的加热套。将出口消声器 直接集成在泵体上不仅通过省掉一个额外的加热器来降低能 源成本,而且还使安装更容易。

Page: