真空技术书籍,第二版

4.6.3 预真空锁和非腐蚀性气体

ACP 120 是水冷式多级罗茨泵的入门级机型。ACP 系列泵不 适合于抽空大量的腐蚀性气体。然而,ACP 系列泵至少可用 于处理少量的腐蚀性气体。在这种情况下,使用惰性气体, 其中,采用惰性气体幕保护轴承,且过程气体通过在泵级中 引入惰性气体进行稀释。

ACP 120 即可作为独立泵操作也可与罗茨泵组合作为 ACG 600 泵站进行操作,该泵站是工业应用的理想解决方案,且 受益于半导体行业腐蚀性气体版本设计。ACP/ACG 泵通过 其无摩擦设计非常适合于清洗过程。它们实现了优异的长期 稳定性和长的维护间隔。

ACP 120

图 4.12: ACP 120

半导体行业的锁泵在其命名中用“L”代表“预真空锁”。与上述 的 ACP 120 相比,它们配备了壳体和调节器。不管电源电压 和频率如何,变频器确保了整体可重现性性能参数。

L 系列泵装有运行时间计数器、状态灯,并可在本地和远程 控制模式中任一模式下进行操作。

入口和出口法兰装在泵的后部以及输入输出接口处,这使其 可连接至半导体生产设备的控制单元。串行接口可任选用于 启动该泵,例如,要连接至监控网络。水冷却和可选的节能 选项连接也位于泵的后部(见 图 4.13)。

集成在泵壳中的可选节能选项(节能,ES)将泵耗电量减少 了 50%。因此,操作者的拥有成本显著降低。除节能之 外,A 100 L ES 可实现极限压力为 7 · 10-4 hPa。噪音水平 也降低了 3 dB(A)。

具有连接的 100 L 背面

图 4.13: 具有连接的 100 L 背面

通过保持泵的表面不受约束,单元也可堆叠起来,因此最大 限度地减少在半导体晶圆厂无尘室或地下室中所占的空间。 得益于其最小占用空间、可堆叠性、即使在气压下的高抽 速、节能选项、低极限压力和高可靠性与长期稳定性组合,L 系列是所有预真空锁过程的理想解决方案。

低最终压力和降低了的噪音水平使其对分析和研发应用极具 吸引力。

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