Pfeiffer Vacuum

4.5.1 设计/工作原理

单级和多级罗茨泵属于空运行旋转排量真空泵的范畴。它们 也被称为罗茨泵或罗茨鼓风机。本章描述的多级罗茨泵属于 ACP 范围(阿迪克森清洁泵)。

在一个泵中,两个同步反向旋转的转子 (1) 在单个壳体中非 接触旋转(图 4.9)。该转子具有 8 字形结构,且相互之间 由窄间隙分离开来。有四到六对转子位于转子轴上。每个转 子腔通过带有喷气口的定子盘与其他转子分离开来。输送的 气体从入口 (3) 被抽到出口 (4)。

一个轴由电机 (5) 驱动。另一轴通过齿轮箱中的正时齿轮 (6) 同步进行。润滑仅限于齿轮箱和封装的低压和高压轴承 (9), 其与吸入室 (7) 通过轴封 (8) 密封开来。

由于吸入室中无摩擦,罗茨真空泵可在高达 6,000 rpm 的高 转速下操作。转子质量围绕轴线对称分布还产生完美的动态 平衡,这意味着,尽管其转速很高,泵的运行却极为安静。