真空技术书籍,第二版

4.5.2 应用

DACP 范围内的干式、风冷式多级罗茨泵因其涉及和性能参 数,通常可直接用于替代可用抽速范围内的油润滑旋片式真 空泵。

多级罗茨泵的优势包括:

  • 在气体置换区域没有润滑剂
  • 被泵送带有油或离子的介质无任何污染
  • 无工作液处理问题
  • 具有长期稳定性的恒定真空参数
  • 因易损件的最小数量而实现的高可靠性
  • 在每个电源和主电源频率、通用电源连接时,具有一相或 三相变频器恒定工作参数
  • 风冷、无安装费用和水冷操作成本
  • 可针对高入口压力连续操作
  • 长维修间隔产生低运营成本
  • 采用变频器的遥控选择
  • 因可调节 rpm、降低的噪音水平、能源利用和电源输入而 理想地适用于该应用
  • 最小泄漏率
  • 涡轮分子泵和罗茨泵理想的前级泵
  • 认证符合 UL/CSA 和 SEMI S2 要求

蒸汽

如果没有额外的措施,由于其相对较低的工作温度,使用无油 泵则有泵内发生冷凝的危险。与旋片式真空泵类似,多级罗茨 泵装有气镇阀,以增加泵的水蒸汽耐受性和水蒸气的能力。泵 内形成冷凝物增加了极限压力,导致腐蚀,且最坏情况下,将 导致泵故障。

在无气镇的情况下,ACP 泵可输送水分含量高达 5% 的介 质。使用标准的泵气镇,水蒸汽耐受性为 10 hPa 且水蒸气的能力为 100 g · h-1。在特殊泵版本(CV,可冷凝蒸汽)增加 气镇吞吐量,可实现水蒸汽耐受性约为100 hPa,水蒸气的能 力为 700 至 1,000 g · h-1,这取决于环境温度。

至于旋片式真空泵:在排空蒸汽前,泵体必须用气镇预热至少 半个小时。较高温度的泵体减少冷凝。减少冷凝的其他方法包 括获得尽可能低的出口压力及分别排出冷凝物。必须使用垂直 排气管道防止出口处的背压。如有有萃取系统,应将出口与其 连接。

灰尘和粒子

如果没有对大粒子物质的进入进行控制,在最坏情况 下,ACP 系列多级罗茨泵可堵塞并彻底失效。为此,在含尘 工艺或如玻璃制造中,在进气侧安装过滤器以防止造成破坏。

腐蚀性气体

ACP 系列泵不适合于抽空大量的腐蚀性气体。在这方面多级 罗茨泵可用于半导体、太阳能和涂料行业中的腐蚀性气体工 艺(见第 4.6 节)。然而,ACP 系列泵至少可用于处理少量 的腐蚀性气体。在这种情况下,使用具有惰性气体净化的版 本,其中,采用惰性气体幕保护轴承,且过程气体通过在一 个泵级中引入惰性气体进行稀释。

泄漏率

T其高气密性能够保证多级罗茨泵 的长期使用以及昂贵气体的使用 (4He, 3He, 同位素标记气体) 气体回路的最佳解决方 案。

轻型气体和高真空

多级罗茨泵具有出口阀以防止湿气和氧气扩散回到吸入室, 这在腐蚀性气体应用中会导致泵内发生化学反应。如果需要 产生真空以防止轻型气体聚集和回流扩散,在应用中,必须 定期将该阀打开(如通过气镇)。

即使排气处的微真空或气镇的使用足以置换甚至连续的氦气 体吞吐量,如在蒸发器低温恒温器中,几乎与氮或空气具有 相同的性能数据。

在载气禁止使用的应用中(如在闭合环路应用中),泵出口 处必须有真空。

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