真空技术书籍,第二版

4.5.1 设计与工作原理

单级和多级罗茨泵属于容积式干式真空泵的范畴。它们也被 称为罗茨泵或罗茨鼓风机。本章描述的多级罗茨泵属于ACP 范围(阿迪克森清洁泵)

在一个泵中,两个同步反向旋转的转子 (1) 在单个壳体中非 接触旋转(图 4.9)。该转子具有 8 字形结构,且相互之间 有狭窄间隙。有四到六对转子位于转子轴上。每个转子腔通 过带有吸/排气口的定子盘与其他转子分离开来。输送的气体 从入口 (3) 被抽到出口 (4)。

一个轴由电机 (5) 驱动。另一轴通过齿轮箱中的同步齿轮 (6) 同步进行。润滑仅限于齿轮箱和低压和高压处的轴承 (9), 其与吸入室 (7) 通过轴封 (8) 密封开来。

由于吸入室中无摩擦,罗茨真空泵可在高达 6,000 rpm 的高 转速下操作。转子质量围绕轴线对称分布还产生完美的动态 平衡, 这意味着,尽管其转速很高,泵的运行却极为安静。