真空技术书籍,第二版

4.5.3.1 风冷式多级罗茨泵

表 4.14 中显示的版本可配置三相或单相电源连接。 不论电源 电压和频率如何,所有的泵都配有变频器。

风冷式多级罗茨泵的配置
型号 标准版本 适用于腐蚀性气体 的“G”版本 适用于可冷凝介质的“CV”版本
无气镇 手动气镇阀 带入口过滤器的永 久气镇 手动气镇阀 带入口过滤器的永 久气镇
ACP 15
ACP 28
ACP 40

表 4.14: 风冷式多级罗茨泵的可能配置

风冷式多级罗茨泵
型号 抽速 有/无*气镇的极限 压力 应用
ACP 15 14 m³ · h-1 3 · 10-2 hPa 非腐蚀性气体、氩、涡轮分子泵的前级泵
ACP 28 27 m³ · h-1 3 · 10-2 hPa
ACP 40 37 m³ · h-1 3 · 10-2 hPa
ACP 15 14 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa* 湿度 > 5% 的标准应用或腔室壁的解吸,低温泵再生
ACP 28 27 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa*
ACP 40 37 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa*
ACP 15 G 14 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa* 预抽室和传输室、涡轮分子泵的前级泵、腐蚀性气体浓度低的过程气体、含尘过程 气体、氧和氧化介质
ACP 28 G 27 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa*
ACP 40 G 37 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa*
ACP 28 CV 27 m³ · h-1 2 · 10-1 hPa* 干燥、蒸馏、有蒸发流体的应用
ACP 40 CV 37 m³ · h-1 2 · 10-1 hPa*

表 4.15: 风冷式多级罗茨泵的性能数据