Pfeiffer Vacuum

4.5.3.1 风冷式多级罗茨泵

Table 4.14 中显示的版本可配置三相或单相电源连接。不论 电源电压和频率如何,所有的泵都配有变频器。

风冷式多级罗茨泵的配置
型号 标准版本 适用于腐蚀性气体的“G”版本 适用于可冷凝介质的“CV”版本
无气镇 手动气镇阀 带入口过滤器的永久气镇 手动气镇阀 带入口过滤器的永久气镇
ACP 15
ACP 28
ACP 40

图 4.14: 风冷式多级罗茨泵的可能配置

风冷式多级罗茨泵
型号 抽速 有/无*气镇的极限压力 应用
ACP 15 14 m³ · h-1 3 · 10-2 hPa 非腐蚀性气体、氩、涡轮分子泵的前级泵
ACP 28 27 m³ · h-1 3 · 10-2 hPa
ACP 40 37 m³ · h-1 3 · 10-2 hPa
ACP 15 14 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa* 湿度 > 5% 的标准应用或腔室壁的解吸,低温泵再生
ACP 28 27 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa*
ACP 40 37 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa*
ACP 15G 14 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa* 预真空锁和传输室、具有轻型气体高发生率的涡轮分子泵的前级泵、腐蚀性气体浓 度低的过程气体、含尘过程气体、氧和氧化介质
ACP 28G 27 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa*
ACP 40G 37 m³ · h-1 1 · 10-1 hPa*
ACP 28CV 27 m³ · h-1 2 · 10-1 hPa* 干燥、蒸馏、有蒸发流体的应用
ACP 40CV 37 m³ · h-1 2 · 10-1 hPa*

图 4.15: 风冷式多级罗茨泵的新能数据

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