真空技术书籍,第二版

4.2.3.2 双级旋片式真空泵

双级旋片式真空泵适合于压力低至 10-3 hPa 的低、中真空范 围中的应用。采用气镇时排出冷凝蒸汽。

DuoLine

DuoLine 旋片式真空泵可根据泵的大小采用交流或直流电动机 供电。除标准模式外,也提供以下设计:磁耦合泵(Duo M 系 列)和腐蚀性气体泵,都具有和不具有磁耦合(Duo MC 系 列)。

PentaLine

PentaLine 系列泵最显著的特点是其创新的驱动理念。这些 泵通过电子控制式无刷直流电动机供电,该电动机的转子直 接位于泵系统的转子轴之上。通过电子逆变器为这些泵提供 交流电。使用选择开关,可选择两个电压范围 100-120 伏 和 200 – 240 伏。它们的优势包括高效率,比传统旋片式真空泵 的能源消耗低 25% 至 50%,且泵无同轴端的密封间隙。如 果暂时不需要泵体发挥其最大性能,泵的 RPM 可减少到待 机模式,还会节省能源 50%。基于新的驱动理念,可避免在 泵体较冷时启动机器产生的高启动电流,即使使用了异步电 动机也无法避免。除上述气镇方法外,PentaLine 泵可使用 温度控制进行操作,以增加水蒸汽抽出能力使用 PLC 兼容接 口或远程连接,实现 “泵开启”、“待机开启”和“增强的水蒸汽抽 出开启” 功能模式。

DuoLine

DuoLine 旋片式真空泵可根据泵的大小采用交流或直流电动机 供电。 除标准模式外,也提供以下设计:磁耦合泵(Duo M 系 列)和耐腐蚀气体泵, 有磁耦合和非磁耦合泵(Duo MC 系 列)。

Duo M 系列

M 系列泵配备了磁耦合,具有严格的密封性。这种无磨损密封 概念对泵进行了严格的密封, 使它们既清洁又环保。磁耦合使 维护最小化,明显节省保养费用。

PentaLine
型号 抽速 极限压力 应用
Penta 20 22 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa 涡轮分子泵机组、分析、工业应用、研发、涂层
Penta 35 34 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

表 4.3: PentaLine 性能数据

DuoLine
型号 抽速 极限压力 应用
Duo 1,6 1.25 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa 涡轮分子泵站,分析、研发、涂层
Duo 3 2.5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 6 5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 11 9 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 35 32 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 65 62 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
Duo 125 115 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
Duo 255 250 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

表 4.4: DuoLine 性能数据

Duo M 系列
型号 抽速 极限压力 应用
Duo 1,6 M 1.25 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa 涡轮分子泵站、分析、研发、涂层、非爆炸性有毒气体
Duo 3 M 2.5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 6 M 5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 11 M 9 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 35 M 32 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 65 M 62 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
Duo 125 M 115 m³ · h-1 2 . 10-3 hPa
Duo 255 M 250 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

表 4.5: Duo M 系列的性能数据

Duo MC 系列

MC 系列泵适用于腐蚀性气体的抽出。与标准泵相反,它们 具有特殊的气镇阀, 惰性气体可通过该阀进入泵体。此外, 该泵配备了特殊的旋片,该旋片尤其耐化学腐蚀。 MC 系列 中所有腐蚀性气体泵可用于使用耐化学腐蚀的 F4 或 F5(全 氟聚醚)工作液的操作。 Duo MC 系统泵尤其适合于抽出有 毒气体,因为密封严格的磁耦合可防止气体的泄漏。

Pascal

Pascal 系列中抽速在 5 至 21 m3 · h-1 的旋片式真空泵内设 有交流或直流电动机。入口和出口法兰可垂直或水平连接。 除标准范围外,也可提供具有强制润滑和两种不同防腐蚀性 气体的 I 系列泵。

SD 系列

旋片式真空泵 SD 系列专为抽非腐蚀性气体而设计。自润滑 (抽速达 21 m3 · h-1) 供排气处的排油量最少。在长期操作 过程中, 泵的低温能够将最终压力下的油蒸汽返流减少到最 低。

正如同抽速达 21 m³ · h-1 一样,该泵轴封可直接更换,而无 需拆卸泵体,因此现场保养非常容易。

I 系列

I 系列泵配备了强制润滑。与 SD 系列相比,这提高了水蒸汽 抽出能力。强制润滑使 I 系列可以实现非常低的噪音水平和 低振动。

C1 系列

由于 FPM 密封件和氧化铬涂层轴以及壳体、旋片、轴套和视 窗使用特殊材料, C1 系列中的强制润滑泵特别适合于腐蚀性 的气体抽出。本系列中两个最大的机型还集成了油过滤器和 油液套管冲洗装置。

C1 系列配有矿物油。

Duo MC 系列
型号 抽速 极限压力 应用
Duo 20 MC 20 m³ · h-1 5 · 10-3 hPa 腐蚀性气体抽出、化学实验室、非爆炸性有毒气体抽出
Duo 35 MC 32 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 65 MC 62 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

表 4.6: Duo MC 系列的性能数据

Pascal SD 系列
型号 抽速 极限压力 应用
2005 SD 5 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 工业应用、分析、研发、泄漏检测
2010 SD 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2015 SD 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 SD 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2033 SD 30 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
2063 SD 60 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

表 4.7: Pascal SD 系列的性能数据

Pascal I 系列
型号 抽速 极限压力 应用
2005 I 5 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 分析、研发、干燥、蒸馏
2010 I 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2015 I 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 I 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa

表 4.8: Pascal I 系列的性能数据

C2 系列

C2 系列泵也配备了强制润滑。这些泵的防腐蚀性气体措施、 泵具有轴承润滑、用于工作液脱气的中性气体冲洗以及特殊 旋片材料的使用使其优于 C1 系列。该系列中两个最大的泵 也配备了油压力传感器和油温传感器。有了这种防腐蚀性气 体设备,Pascal C2 泵特别适合于半导体制造中蚀刻和涂层 工艺中的使用。

C2 系列配有全氟化的工作液。

Pascal C1 系列
型号 抽速 极限压力 应用
2005 C1 5 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 腐蚀性气体应用、化学实验室、预抽和传输室化学应用、杀菌
2010 C1 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2015 C1 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 C1 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2033 C1 30 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
2063 C1 60 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

表 4.9: Pascal C1 系列的性能数据

Pascal C2 系列
型号 抽速 极限压力 应用
2010 C2 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 涂层、半导体(CVD、等离子刻蚀、注入)、抽出纯净氧
2015 C2 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 C2 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2033 C2 30 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
2063 C2 60 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

表 4.10: Pascal C2 系列的性能数据

油类型 描述 可实现的极限 压力 应用 HenaLine, UnoLine Plus, DuoLine, PentaLine, OktaLine Pascal
P3 标准应用的矿物油 极低蒸气压 < 1 · 10-3 hPa 空气、非腐蚀性气体、惰性气体
A120 无添加剂的一般用途矿物油,用于 50 Hz 的多用途油 < 3 · 10-3 hPa 空气、非腐蚀性气体、惰性气体;高粘性
D1 标准应用和特殊应用的二酯油 < 5 · 10-2 hPa 空气、非腐蚀性气体、惰性气体、氧、轻度 腐蚀性有机溶剂
A155 有机酯基合成油 < 3 · 10-3 hPa 烃类蒸汽、NH3, R134a、致冷剂;抗氧 化、耐聚合(少量沉积物)
F4 特殊应用的全氟聚醚 < 1 · 10-3 hPa 氧、臭氧、卤素、有机和无机溶 剂、HCl、BF3、HF 用于 < 20 m³ h-1的泵
F5 用于 > 20 m³ h-1的泵
A113 全氟聚醚合成油 < 5 · 10-3 hPa 氧、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、耐腐蚀 性气体能力强、适合于等离子刻蚀
A119 无添加剂的一般用途矿物油,用于 60 Hz 的多用途油 < 3 · 10-3 hPa 空气、非腐蚀性气体、惰性气体;低粘性, 因此在低温下具有良好的启动性能
A121 具有抗氧化添加剂的双蒸矿物合 成油 < 3 · 10-3 hPa 在大气压下循环启动,适用于高温和高压, 耐酸性和有机蒸汽;不适合用于等离子刻蚀
A102 具有抗乳化剂的矿物油 < 3 · 10-2 hPa 油水分离(抗乳化性)、水蒸气干燥和抽 出、冷冻干燥
A111 有添加剂的碳氢化合物抗乳化矿 物油 < 1 · 10-2 hPa 气体循环和气体回流;氧化敏感(不适合于 大气压下的频繁循环)
A200 温度稳定的矿物合成油 < 2 · 10-3 hPa 耐腐蚀性气体和电离等离子体;少量返流
A300 无添加剂的双蒸馏白色矿物油 < 5 · 10-3 hPa 高抗腐蚀性气体和电离等离子体;耐卤素和 路易斯酸;少量返流

表 4.11: 前级泵和罗茨泵用油类型