Pfeiffer Vacuum

4.2.3.2 二级旋片式真空泵

两极旋片式真空泵适合于压力低至 10-3 hPa 的低、中真空范 围的应用。集成的气镇供给使得冷凝蒸汽可以被排出。

DuoLine

DuoLine 旋片式真空泵可根据泵的大小采用交流或直流电动机 供电。除标准模式外,也提供以下设计:磁耦合泵(Duo M 系 列)和腐蚀性气体泵,都具有和不具有磁耦合(Duo MC 系 列)。

Duo M 系列

M 系列泵配备了磁耦合,具有严密的密封性。这种无磨损密封 概念对泵进行了严密的密封,使它们既干净又环保。磁耦合最 小化了保养,产生明显的节省。

DuoLine
型号 抽速 极限压力 应用
Duo 1,6 1.25 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa Turbopump pumping stations, analysis, research and development, coating
Duo 3 2.5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 6 5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 11 9 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 35 32 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 65 62 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
Duo 125 115 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
Duo 255 250 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

图 4.4: DuoLine 性能数据

Duo M 系列
型号 抽速 极限压力 应用
Duo 1,6 M 1.25 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa 涡轮分子泵站、分析、研发、涂料、非爆炸性有毒气体
Duo 3 M 2.5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 6 M 5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 11 M 9 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 35 M 32 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 65 M 62 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
Duo 125 M 115 m³ · h-1 2 . 10-3 hPa
Duo 255 M 250 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

图 4.5: Duo M 系列的性能数据

Duo MC 系列

MC 系列泵适用于腐蚀性气体应用。与标准泵相反,它们具 有特殊的气镇阀,惰性气体可通过该阀进入泵体。此外,该 泵配备了特殊的叶片,该叶片尤其耐化学制品。MC 系列中 所有腐蚀性气体泵可用于使用耐化学腐蚀的 F4 或 F5(全氟 聚醚)工作液的操作。Duo MC 系统泵尤其适合于抽吸有毒 气体,因为密封严密的磁耦合可防止气体泄漏到外部。

Pascal

Pascal 系列中抽速等级在 5 和 21 m3 · h-1 之间的旋片式真 空泵内建有交流或直流电动机。入口和出口法兰可垂直或水 平完美结合或使配件可以连接。除标准范围外,也可提供具 有强制润滑和两个不同腐蚀性气体的 I 系列。

SD 系列

旋片式真空泵 SD 系列专为非腐蚀性气体而设计。天然润滑(抽速等级达 21 m3 · h-1) 排气装置的排油量。在长期操作 过程中,泵的低温能够将最终压力下的回流减少到最低。

正如其他泵中抽速等级达 21 m³ · h-1 一样,该泵轴封可接 近,而无需拆卸泵体,因此现场保养非常容易。

I 系列

I 系列泵配备了强制润滑。与 SD 系列相比,这提高了水蒸汽 耐受性。强制润滑使 I 系列可以实现非常低的噪音水平和低 振动。

C1 系列

由于 FPM 密封件和氧化铬涂层轴以及壳体、叶片、轴套和视 镜使用特殊材料,C1 系列中的强制润滑泵特别适合于腐蚀性 的气体应用。本系列中两个最大的机型还集成了油过滤器和 油液套管冲洗装置。

C1 系列配有矿物油。

Duo MC 系列
型号 抽速 极限压力 应用
Duo 20 MC 20 m³ · h-1 5 · 10-3 hPa 腐蚀性气体应用、化学实验室、非爆炸性有毒气体
Duo 35 MC 32 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 65 MC 62 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

图 4.6: Duo MC 系列的性能数据

Pascal SD 系列
型号 抽速 极限压力 应用
2005 SD 5 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 工业应用、分析、研发、泄漏检测
2010 SD 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2015 SD 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 SD 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2033 SD 30 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
2063 SD 60 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

图 4.7: Pascal SD 系列的性能数据

Pascal I 系列
型号 抽速 极限压力 应用
2005 I 5 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 分析、研发、干燥、蒸馏
2010 I 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2015 I 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 I 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa

图 4.8: Pascal I 系列的性能数据

C2 系列

C2 系列泵也配备了强制润滑。这些泵防腐蚀性气体设备、泵 具有轴承润滑、用于工作液脱气的中性气体冲洗设备以及特 殊叶片材料的使用使其优于 C1 系列。该系列中两个最大的 机型也配备了油压力传感器和油温传感器的连接。有了这种 防腐蚀性气体设备,Pascal C2 泵特别适合于半导体制造中 蚀刻和涂层工艺的使用。

C2 系列配有全氟化的工作液。

Pascal C1 系列
型号 抽速 极限压力 应用
2005 C1 5 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 腐蚀性气体应用、化学实验室、预真空锁和传输室化学应用、杀菌
2010 C1 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2015 C1 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 C1 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2033 C1 30 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
2063 C1 60 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

图 4.9: Pascal C1 系列的性能数据

Pascal C2 系列
型号 抽速 极限压力 应用
2010 C2 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa 涂料、半导体(CVD、等离子刻蚀、注入)、抽吸纯净氧
2015 C2 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 C2 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2033 C2 30 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
2063 C2 60 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

图 4.10: Pascal C2 系列的性能数据

油类型 描述 可实现的极限压力 应用 HenaLine, UnoLine Plus, DuoLine, OktaLine Pascal
P3 标准应用的矿物油极低蒸气压 < 1 · 10-3 hPa 空气、非腐蚀性气体、稀有气体
A120 无添加剂的一般用途矿物油,用于50 Hz 的多用途油 < 3 · 10-3 hPa 空气、非腐蚀性气体、稀有气体;高粘性
D1 标准应用和特殊应用的二酯油 < 5 · 10-2 hPa 空气、非腐蚀性气体、稀有气体、氧、轻度腐蚀性有机溶剂
A155 有机酯基合成油 < 3 · 10-3 hPa 烃类蒸汽、NH3, R134a、致冷剂;抗氧化、耐聚合(少量沉积物)
F4 特殊应用的全氟聚醚 < 1 · 10-3 hPa 氧、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、HCl、BF3、HF 用于 < 20 m³ h-1的泵
F5 用于 > 20 m³ h-1的泵
A113 全氟聚醚合成油 < 5 · 10-3 hPa 氧、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、耐腐蚀性气体能力强、适合于等离子刻蚀
A119 无添加剂的一般用途矿物油,用于60 Hz 的多用途油 < 3 · 10-3 hPa 空气、非腐蚀性气体、稀有气体;低粘性,因此在低温下具有良好的启动性能
A121 具有抗氧化添加剂的双蒸矿物合成油 < 3 · 10-3 hPa 在气压下循环抽吸,适用于高温和高压,耐酸性和有机蒸汽;不适合用于等离子刻蚀
A102 具有抗乳化剂的矿物油 < 3 · 10-2 hPa 油水分离(抗乳化性)、水蒸气干燥和抽吸、冷冻干燥
A111 有添加剂的碳氢化合物抗乳化矿物油 < 1 · 10-2 hPa 气体循环和气体回流;氧化敏感(不适合于气压下的频繁循环)
A200 温度稳定的矿物合成油 < 2 · 10-3 hPa 耐腐蚀性气体和电离等离子体;少量回流
A300 无添加剂的双蒸馏白色矿物油 < 5 · 10-3 hPa 高抗腐蚀性气体和电离等离子体;耐卤素和路易斯酸;少量回流

图 4.11: 前级泵和罗茨泵的油类型

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