真空技术书籍,第二版

4.9.3.2 主动磁悬浮涡轮分子泵

表 4.22 包含带有 5 轴主动磁悬浮轴承的涡轮分子泵的特性

这些泵可用作:

  • 带 ISO-K 或 ISO-F 法兰的 HiPace® M:HiPace® 涡轮拖 动泵,具有 Holweck 级,用于产生标准应用的高真空
  • 带 CF 法兰的 HiPace® M:HiPace® 涡轮拖动泵,具有 Holweck 级,用于产生超高真空
  • ATP M:无 Holweck 级的经典涡轮分子泵,具有轻气体的 高压缩比,粒子耐受性高
  • ATH M 和 MT:有 Holweck 级的涡轮拖动泵,带密封气 体系统和加热,适用于腐蚀性气体应用
ATH M 磁悬浮涡轮分子泵

图 4.30: ATH M 磁悬浮涡轮分子泵

磁悬浮涡轮分子泵
型号 抽速 压缩比 气体吞吐量* 应用
HiPace 300 M 255 l · s-1 > 1 · 1011 28 hPa · l · s-1 分析、真空镀膜、研发
ATH 500 M / MT 520 l · s-1 > 2 · 107 67 hPa · l · s-1 半导体、真空镀膜、研发
HiPace 700 M 685 l · s-1 > 1 · 1011 13 hPa · l · s-1 分析、真空镀膜、研发
HiPace 800 M 790 l · s-1 > 1 · 1011 13 hPa · l · s-1
ATH 1603 M 1,370 l · s-1 > 6 · 108 67 hPa · l · s-1 半导体、真空镀膜、研发:玻璃镀膜、太阳能电 池的制造、表面处理、CVD、PVD/溅射、离子 注入、等离子体物理
ATH 1600 MT 1,370 l · s-1 > 5 · 108 67 hPa · l · s-1
ATH 2303 M 1,950 l · s-1 > 1 · 108 67 hPa · l · s-1
ATH 2300 MT 1,950 l · s-1 > 1 · 108 67 hPa · l · s-1
ATP 2300 M 1,850 l · s-1 > 1 · 108 37 hPa · l · s-1
ATH 2800 M 2,150 l · s-1 > 1 · 108 84 hPa · l · s-1
ATH 2800 MT 2,150 l · s-1 > 1 · 108 84 hPa · l · s-1
ATH 3200 M 2,700 l · s-1 > 1 · 108 84 hPa · l · s-1
ATH 3200 MT 2,700 l · s-1 > 1 · 108 84 hPa · l · s-1

*) 气体流量取决于驱动器。
表 4.22: 磁轴承涡轮分子泵针对氮的性能数据