Pfeiffer Vacuum

4.9.3.1 机械轴承涡轮分子泵

如果 HiPace® 涡轮分子泵在前真真空侧具有油润滑球轴承, 在高真空侧具有永磁体轴承,则以下涡轮分子泵系列之间是 有区别的:

  • 带 ISO-K 法兰的 HiPace®:HiPace 涡轮拖式泵,具有 Holweck 级,用于产生标准应用的高真空
  • 带 CF 法兰的 HiPace®:HiPace 涡轮拖式泵,具有 Holweck 级,用于产生超高真空
  • HiPace® Plus:带有 Holweck 级的 HiPace 涡轮拖式泵, 具有减少的杂散磁场和超低振动水平
  • HiPace® P:经典的涡轮分子泵,适用于含尘的应用
  • HiPace® C:带有涂层和密封气体系统的经典涡轮分子 泵,适用于腐蚀性气体应用
标准 HiPace 涡轮分子泵

图 4.29: 标准 HiPace 涡轮分子泵

表 4.21 包含具有混合轴承的标准泵的特点。所有其他系列都 是在这些标准型号上进行的修改,基本上具有相同的特点。

HiPace 涡轮分子泵
型号 抽速 压缩比 气体吞吐量* 应用
HiPace 10 11.5 l · s-1  3.0 · 107 0.37 hPa · l · s-1 分析应用、泄漏探测器气体流量控制系统、白炽灯和荧光灯制造
SplitFlow 50 53 l · s-1 >1.0 · 108 1.8 hPa · l · s-1
HiPace 60 P 64 l · s-1 >1.0 · 106 9.2 hPa · l · s-1
HiPace 80 67 l · s-1 >1.0 · 1011 1.3 hPa · l · s-1 分析应用、研究和开发、涂料、半导体制造
HiPace 300 260 l · s-1 >1.0 · 1011 5.0 hPa · l · s-1
HiPace 400 355 l · s-1 >1.0 · 1011 6.5 hPa · l · s-1
HiPace 700 685 l · s-1 >1.0 · 1011 6.5 hPa · l · s-1
HiPace 800 790 l · s-1 >1.0 · 1011 6.5 hPa · l · s-1
HiPace 1200 1,250 l · s-1 >1.0 · 108 20 hPa · l · s-1 玻璃涂层、太阳能电池的制造、表面处理、CVD、PVD/溅射、离子注入、等离子体物理、空间模拟
HiPace 1500 1,450 l · s-1 >1.0 · 108 20 hPa · l · s-1
HiPace 1800 1,450 l · s-1 >1.0 · 108 20 hPa · l · s-1
HiPace 2300 1,900 l · s-1 >1.0 · 108 20 hPa · l · s-1

*) 气体吞吐量取决于驱动器。
Table 4.21: HiPace® 针对氮所选的性能数据

带 ISO-K 法兰的标准泵的底压是: $p_b$ < 1 · 10-7 hPa。在烘 烤后,带 CF 法兰的泵实现底压 $p_b$ < 5 · 10-10 hPa。

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