Pfeiffer Vacuum

4.9.3.3 驱动器与配件

提供各种控制器、显示器和驱动器以及广泛的配件用于在不 同应用中操作涡轮分子泵。

下面所使用的编号是基于图 4.31。

涡轮分子泵 (1a) 通常配有一个连接的驱动器 (1b)。例如,直 流电源来自带显示控制单元 (2b) 的插入式电源模块 (2a)。也 可提供内置电源单元。USB 变流器 (5b) 也可用于将 PC (5a) 连接至 RS-485 接口,以执行编程和切换功能或传输状态显 示。Profibus DP 和 DeviceNet 变流器允许泵连接至系统控 制器。使用外部信号通过遥控器插件也可执行主要的切换功 能。此外,一些状态显示可从继电器输出。

除了操作装置,各种配件也可用于特殊应用。

一些 DCU 电源单元能够连接真空表,以显示压力以及涡轮分 子泵上的信息。

在前级泵继电器箱 (6) 的辅助下,DCU 电源 (2a) 可以转换为 泵站控制器,该控制器可同时开启涡轮分子泵 (1a) 和前级 泵。

对于高气体负荷,可连接风扇 (4) 或水冷 (3) 以冷却泵。

涡轮分子泵配件的例子(适用于 HiPace 300)

图 4.31: 涡轮分子泵配件的例子(适用于 HiPace 300)

如果 RPM 下降到给定速度以下,电动排气阀 (8) 则对涡轮分 子泵进行排气。在短时间停电的情况下,排气阀将保持关 闭,以维持真空。然后,在电源电压恢复时,泵站将立即重 启。但是,这需要一个带有安全阀的前级泵,该泵将在停电 时自动关闭。

对于 UHV 应用,加热器 (9) 可连接到泵上,在达到预选转速 后,该加热器自动开启,在转速减少时自动关闭。

具有匹配吞吐量的电磁密封气体阀 (7b) 以及各种尺寸的泵密 封气体节流阀 (7a) 可用于腐蚀性气体泵。

欲了解更多详细信息,请参考我们产品目录中的第 3.1 节“涡 轮分子泵”。

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