真空技术书籍,第二版

4.9.3.3 驱动器与配件

提供各种控制器、显示器和驱动器以及广泛的配件用于在不 同应用中的涡轮分子泵。

下面所使用的编号是基于图 4.31。

涡轮分子泵 (1a) 通常配有一个连接的驱动器 (1b)。例如, 直 流电源来自带显示控制单元 (2b) 的插入式电源模块 (2a)。也 可提供内置电源单元。USB 变流器 (5b) 也可用于将 PC (5a) 连接至 RS-485 接口, 以执行编程和切换功能或传输状态显 示。Profibus DP 和 DeviceNet 变流器允许泵连接至系统控 制器。 使用外部信号通过遥控器插件也可执行主要的切换功 能。 此外,一些状态显示可从继电器输出。

除了操作装置,各种配件也可用于特殊应用。

一些 DCU 电源单元能够连接真空表,以显示压力以及涡轮分 子泵上的信息

在前级泵继电器箱 (6) 的辅助下,DCU 电源 (2a) 可以转换为 系统控制器,该控制器可同时开启涡轮分子泵 (1a) 和前级 泵

对于高气体负荷,可连接风扇 (4) 或水冷 (3) 来冷却泵。

涡轮分子泵配件的例子(适用于 HiPace 300)

图 4.31: 涡轮分子泵配件的例子(适用于 HiPace 300)

如果 RPM 下降到给定速度以下,电动排气阀 (8) 则对涡轮分 子泵进行排气。在短时间停电的情况下,排气阀将保持关 闭, 以维持真空。然后,在电源电压恢复时,泵将立即重 启。 但是,这需要一个带有安全阀的前级泵,该泵将在停电 时自动关闭。

对于 UHV 应用,加热器 (9) 可连接到泵上,在达到预选转速 后, 该加热器自动开启,在转速减少时自动关闭。

具有匹配流量的电磁密封气体阀 (7b) 以及各种尺寸的泵密封 气体节流阀 (7a) 可用于腐蚀性气体泵。

欲了解更多详细信息,请参考我们产品目录中的第 3.1 节“涡 轮分子泵”。