Pfeiffer Vacuum

4.1.1 真空泵的分类

真空泵分为气体输送泵和气体粘合或捕集泵。气体容积式真 空泵可以没有限制地使用,而气体粘合真空泵具有有限的气 体吸收能力,并且必须在一定的过程相关间隔进行再生。

气体容积式泵,也被称为气体输送泵,被分类为往复容积式 泵或动能真空泵。容积泵将密封区域的气体置换到大气或下 游泵级中。动能泵通过机械驱动系统或通过在抽吸部分结束 时冷凝的引导蒸汽流在抽吸方向对气体进行加速来置换气 体。气体粘合真空泵通过吸气或在合适温度冷凝气体的方式 将气体粘合到特别的活性衬底上。化学吸附是通过被称为吸 气泵的泵类型在技术上进行的,该吸附泵通过蒸发和/或升华 或溅射不断地产生纯净的吸气面。如果要结合的气体粒子在 与吸气面进行相互作用之前在离子吸气泵中被电离了,则它 们可通过溅射清洁吸气面的同时被溅射的材料掩盖。非蒸散 型吸气剂 (NEG) 包括反应性高的合金,其主要由锆或钛组 成,并且具有非常大的比表面积。气体可以通过微孔渗透到 吸气材料的深层里,并在那里结合成稳定的化合物。

真空概览

图 4.1: 真空概览

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