真空技术书籍,第二版

4.1.5 串联系统的抽速

真空泵具有抽速 $S_0$ 和压缩比 $K_0$。泵通过缝隙具有返流损 失,返流流导为 $C_R$。 设入口压力为 $p_{inlet}$ 且排气压力为 $p_{outlet}$ 。抽速为 $S_b$ 的前级泵被连接到出口侧。 例如,罗茨泵 机组或涡轮分子泵机组。

抽速为 $S$ 的整个机组抽出的气体量

\[q_{pV}=p_{inlet} \cdot S=p_{outlet} \cdot S_b= S_0 \cdot p_{inlet}-C_R (p_{outlet}-p_{inlet})\]

公式 4-2: 机组的气体流量

对于返流流导 $C_R$, 适用以下公式,其中 $C_R << S_0$

\[C_R=\frac{S_0}{K_0}\]

公式 4-3: 返流流导

且对于实际压缩比

\[K=\frac{p_{outlet}}{p_{inlet}}=\frac{S}{S_V}\]

公式 4-4: 实际压缩比

使用以上公式,可以得出两级泵系统的抽速 $S$ 为

\[S=\frac{S_0}{1-\frac{1}{K_0}+\frac{S_0}{K_0 \cdot S_V}}\]

公式 4-5: 抽速递推公式

该公式也可以用作多级泵串联系统的递推公式,其中最后一 级泵抽速 $S_b$ 和中间泵的 $K_0$ 和 $S_0$。