Pfeiffer Vacuum

4.1.5 串联抽吸阶段的抽速

让我们认定真空泵具有抽速 $S_0$ 和压缩比 $K_0$. 。该泵通过缝隙 具有回流损失,回流流导率为 $C_R$。 让入口压力为 $p_{inlet}$ 且排气压力为 $p_{outlet}$ 。抽速为 $S_b$ 的附加泵被连接到出口侧。例 如,这可以是罗茨泵组或涡轮分子泵组。

抽速为 $S$ 的整个泵组提供气体量

\[q_{pV}=p_{inlet} \cdot S=p_{outlet} \cdot S_b= S_0 \cdot p_{inlet}-C_R (p_{outlet}-p_{inlet})\]

公式 4-2: 泵组合的气体流量

对于回流流导率 $C_R$, 以下公式适用,其中 $C_R << S_0$

\[C_R=\frac{S_0}{K_0}\]

公式 4-3: 回流流导

且对于实际压缩比

\[C_R=\frac{p_{inlet}}{p_{outlet}}=\frac{S}{S_b}\]

公式 4-4: 实际压缩比

使用以上公式,因此得出两极泵站的抽速 $S$ 将为

\[S=\frac{S_0}{1-\frac{1}{K_0}+\frac{S_0}{K_0 \cdot S_b}}\]

公式 4-5: 抽速递推公式

该公式也可以用作多个抽吸阶段的递推公式,该等抽吸阶段 通过最后阶段以抽速 $S_b$ 开始和插入前阶段的 $K_0$ 和 $S_0$ 以串联连接。