Pfeiffer Vacuum

4.1.8 密封气体

当抽吸腐蚀性过程气体时,存在气体可能破坏泵部件的风 险。为了避免这个危险,敏感部件必须用连续的惰性气体流 保护起来。因此,泵体内装有特殊的进气系统,凭借该系 统,气体在规定的位置流入泵系统。在涡轮分子泵中,主要 是轴承和电机舱需要保护。在电机舱中吸入密封气体能够避 免侵蚀性气体与润滑剂或轴承中的腐蚀敏感成分发生化学反 应以及防止灰尘和粒子进入润滑剂存储罐、与润滑剂混合。 使用密封气体可以保护电机及防止粒子进入和导致轴与紧急 轴承接触,也建议免润滑的涡轮分子泵使用

除轴承密封气体外,具有过程能力的干式前级泵也具有净化 气体注入流程泵的各个抽吸阶段。过程有关的净化气体流量 使用校准喷头上游的压力调节器或流量调节器(质量流量控 制器或 MFC)进行调节,以及通过压力传感器和开关进行监 控。

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