Pfeiffer Vacuum

4.1.2 抽速和气流量

抽速 $S_0=\frac{dV}{dt}$

(公式 1-17) 是通过真空泵入口横截面的平均体积流量。在 图中,Y 轴上显示的是体积流率或或抽速,X 轴上显示的是 入口压力。由于其几何形状,泵可达到的最大抽速被称为额 定抽速。抽速的测定在基本标准 ISO 21360-1: 2012 中进行 了说明。抽速以单位 m3 · s-1 表示。单位 m³ · h-1, l · s-1 和 l · min-1 也是惯用单位。

气流量 $q_{pV}=S \cdot p=\frac{dV}{dt} \cdot p$

(公式 1-16) 作为入口压力函数,表示真空泵中的气体吞吐 量。它以 Pa · m3 · s-1 或 hPa · l · s-1 = mbar · l · s-1 表示。 如果泵由气体容积泵组成,所有串联连接的泵都具有相同的 气流量。