真空技术书籍,第二版

4.1.3 极限压力和本底压力

极限压力 $p_e$ 是在无气体进入的限定条件下由盲板法兰连接的 真空泵渐进的最低压力。在极限压力下,泵的抽速将为零, 因为只有其自身的返流损失将被抽出。极限压力是理论值。 现在用本底压力代替极限压力。获得本底压力的条件在标准 ISO 21360-1:2012 中有规定。由于必须在指定时间内获得本 底压力,其通常高于极限压力。