真空技术书籍,第二版

4.1.6 气镇

空气或其他非冷凝气体通过某种方式被允许进入真空泵,该 等方式被称为气镇。如果泵在相应温度下无需气镇置换会在 泵中冷凝的蒸汽,则气镇使出口阀在蒸汽冷凝前打开,且蒸 汽与镇流气体一起被排出。大气以及所选惰性或过程气体被 用作镇流气体。气镇的使用会略微增加真空泵所能达到的底 压。 因此,对于气镇真空泵,同时规定有气镇和无气镇的底压。

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