真空技术书籍,第二版

4.7.3.2 带磁耦合的标准泵

M 系列可用于对密封有最严格要求且要求最长维修间隔的工 艺。该系列的大部分与标准系列相同,但是,其特点是额外 的严密密封的磁耦合代替了径向轴密封环。这意味着,它在 操作中基本无磨损。泵的整体泄漏率小于 1 · 10-6 Pa · m3 · s-1。这排除了油泄漏的可能性,过程气体和环境之间也不存 在任何交换。M 系列标准泵适合于Table 4.19 中显示的所有 应用。此外,这些泵还可用于抽吸有毒气体的工业/化学应用 以及超洁净气体应用:例如,用于半导体行业中的 CVD 和 PVD 工艺或排空预真空锁/传输室以及用于平面屏幕的生 产。M 系统可提供的大小范围从 250 m3 · h-1 到 6,000 m3 · h-1.

为了令您更好的体验我们的网站,我们使用cookies技术。 更多信息