4.7.2 应用

由于其低压缩比,罗茨泵必须始终作为泵组合进行操作,用 于产生真空。它们可实现的最终压力将是所选前级泵极限压 力产生的结果。由于通过吸附的气体输送,在范围低于 10-4 hPa 下使用罗茨泵不再可行。具有各种前级泵的泵站的抽速 和极限压力表现如图 4.19 所示。该曲线清楚地表明,这 种泵组合的抽速上升了 8 倍,其极限压力相对于前级泵下降 了 15 倍。

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