Pfeiffer Vacuum

4.7.2.1 前级泵选择

旋片泵

如果因工艺对功能产生不利影响的可能性不大,则旋片式真 空泵是罗茨真空泵站最具成本效益的前级泵。在恒定抽速 下,旋片式真空泵在广泛的压力范围内具有极限压力大约为 p < 1 hPa 。在气镇阀开启时,罗茨真空泵站实现的极限压力大约为 10-2 hPa。使用这些类型的泵站,可抽出水蒸气以及 很多溶剂蒸汽和气体具有足够高蒸气压且没有化学分解泵油 的其他蒸汽。其中的例子包括醇类、卤代烃类以及光的正构 烷烃等。

使用 Okta 2000 和各种前级泵的泵站抽速

图 4.19: 使用 Okta 2000 和各种前级泵的泵站抽速

液环真空泵

液环真空泵是抽出蒸汽的合适解决方案,此类蒸汽以化学方 式侵蚀和分解前级泵油或具有如此低的蒸气压以致无法避免 前级泵内发生冷凝,尽管有气镇。然而,它们将只实现通过 工作液蒸气压确定的极限压力。如果使用 15°C 的水,液环 真空泵预计的极限压力约为 20 hPa,然后已经在气穴范围内 工作。气穴在接近泵极限压力时发生。工作液在进气侧蒸 发,且蒸汽气泡突然在压力侧破灭。这会长期破坏泵。通过 供气无气穴操作的液环泵实现的极限压力约为 25 至 30 hPa,罗茨泵和液环泵组合实现的极限压力约为 1 hPa。在抽 空对环境有害的物质时,液环真空泵不应与淡水一起使用。 在这种情况下,必须提供封闭的循环系统来推进合适的工作 液经过冷却了的热交换器,以提取压缩热。

使用气体喷射装置的液环真空泵

罗茨真空泵、气体喷射装置和液环真空泵组合实现 0.2 hPa 的极限压力。如果需要实现较低的压力,必须在上游连接附 加的罗茨真空泵。

气体循环冷却罗茨真空泵

由于罗茨真空泵在技术上是干式泵,所以建议在其附带的液 封吸入室的泵不能使用时使用该泵。

它们的应用包括:

  • 萃取和压缩低温恒温器上的氦
  • 萃取和压缩 SF6
  • 各种各样工艺中各种气体和蒸汽的清洁回收,如蒸馏
  • 抽空分子筛等
  • 在闭环系统中抽空和循环有毒物质
  • 抽空体积非常大的容器

使用气冷罗茨泵的罗茨泵站可配置各种不同的入口特征构 造。在极端情况下,在 1,000 hPa 这 10-3 hPa 的整个压力 范围内可以实现基本恒定的抽速,且各个泵级可按 2:1 至 3:1 的比率来选择。然而,要实现这一点,罗茨真空泵必须配备 相应强大的电机,并且必须提供向大气侧的出口阀,而不是 溢流阀。

螺杆泵

凭借 HeptaDry 螺杆泵,在技术上可提供完整产品线的干式 泵,其提供抽速范围为 100 至 600 m3 · h-1。作为独立泵(也见图 4.4),它们在低、中真空段中涵盖了广泛的压力范 围。由于其内部压缩,它们可在 0.1 至 1,000 hPa 整个入口 压力范围内以相对低的驱动电力连续进行工作。在与 OktaLine 罗茨泵组合使用时,甚至可实现 5 · 10-3 hPa 极限压 力。

多级罗茨泵

ACP 范围内的多级罗茨泵实现了紧凑型泵站,抽速高达 285 m3 · h-1。将 ACP 前级泵与罗茨泵组合使用,可实现最终压力高达 5 · 10-3 hPa。

罗茨泵站的腐蚀性气体版本在第 4.6 节中进行了描述。